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等离子清洗机刻蚀

简要描述:等离子清洗机刻蚀KT-S2DQX,采用高纯石英腔体,150W,13.56MHz,触摸屏控制。桌面式仪器,操作简单

  • 产品型号:KT-S2DQX
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-06-13
  • 访  问  量:60
详细介绍
品牌郑科探产地类别国产
应用领域化工,电子,综合

等离子清洗机刻蚀KT-S2DQX应用领域:光学器件、电子元件、半导体元件、激光器件、镀膜基片、终端安装等的超清洗。清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片。移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质,去除金属材料表面的氧化物。清洗半导体元件、印刷线路板、ATR元件、人工晶体、天然晶体和宝石。清洗生物芯片、微流控芯片、沉积凝胶的基片。高分子材料表面的修饰。封装领域中的清洗和改性,增强其粘附性,适用于直接封装及粘和。改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力。

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等离子清洗机刻蚀KT-S2DQX

供电电源

AC220V(AC110V可选)

工作电流

整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)

射频电源功率

150W

射频频率

13.56MHz

频率偏移量

<0.2MHz

特性阻抗

50欧姆,手动匹配

耦合方式

电容耦合

真空度

≤100Pa

腔体材质

高纯石英

腔体容积

2L(内径110MMX深度220MM)

观察窗内径

Φ65

气体流量

10—100ml/min(其他量程可选)

过程控制

过程手动控制

清洗时间

手动开关

开盖方式

铰链侧开式法兰

外形尺寸

400x380x360mm

重量

23Kg

真空室温度

小于65°C

冷却方式

强制风冷

标配

KF16真空管1米,kf16卡箍2个,不锈钢网匣1个,电源线一根,说明书一本。




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