郑科探KT-S2DQX等离子清洗机介绍

KT-S2DQX型等离子清洗机电源属于150W 13.56MHz的射频电源。作为一种精密干法清洗设备，主要应用于半导体、镀膜工艺、PCB制程、PCB制程、元器件封装前、COG前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗，塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。

该清洗机内置高纯石英仓体，容积为2升。采用了新型的外观结构设计和固态电源技术，使其有效容积增大，不同真空 气体环境下容易匹配，且控制频率稳定。真空仓门有观察窗，可直观物体的处理过程，其射频电源与控制都组装在一个机箱内，即减少了空间的占用，更便于操作和放置，同时与大型清洗机相比较，从检测功能与控制功能的设置上均可一个面板上操作，特别适用科学实验 样品清洗 和教学。

二：主要技术要求

1：供电电源    AC220V（AC110V可选)

2：工作电流    整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)

3：射频电源功率    150W

4：射频频率    13.56MHz

5：特性阻抗    50欧姆，手动匹配

6：耦合方式    电容耦合

7：真空度    ≤50Pa

8：腔体材质    高纯石英

9：腔体容积    2L(内径110MMX深度220MM)

10：观察窗内径    Φ50

11：气体流量    0—50ml/min（其他量程可选）

12：过程控制    过程手动控制

13：清洗时间    手动开关

14：开盖方式    铰链侧开式法兰

15：外形尺寸    450x450x360mm

16：真空室温度    小于65°C

17：冷却方式    强制风冷