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低温真空探针台

产品时间:2020-04-17

简要描述:

低温真空探针台 广泛应用于半导体工业(芯片、晶圆片、封装器件)、MEMS、超导、电子学、物理学和材料学等领域。为了提高系统的实用性,系统还可以提供3.2K的温度扩展选件、振动隔离装置、LN2杜瓦、高放大倍数的显微镜、分子泵机组、热辐射屏的温度控制装置、探针臂的光纤电缆、光学样品架等选件。

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     低温真空探针台是一款为晶片、器件和材料(薄膜、纳米、石墨烯、电子材料、超导材料、铁电材料等)提供真空和低温测试条件下进行非破坏性的电学表征和测量平台。低温真空探针台可以对材料或器件进行电学特性测量、光电特性测量、参数测量、高阻测量、DC测量、RF测量和微波特性测量,

      低温真空探针台广泛应用于半导体工业(芯片、晶圆片、封装器件)、MEMS、超导、电子学、物理学和材料学等领域。为了提高系统的实用性,系统还可以提供3.2K的温度扩展选件、振动隔离装置、LN2杜瓦、高放大倍数的显微镜、分子泵机组、热辐射屏的温度控制装置、探针臂的光纤电缆、光学样品架等选件。

    KT-Z1604T探针台主要应用于传感器,半导体,光电,集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

      该探针台的承载台为60x60不锈钢台面,台面可升温到350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动,三个方向均可在真空环境下精密移位调节,其中X方向调节范围:0-30mm;y方向调节范围:0-20mm;z方向调节范围:0-20mm;用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上,再微调探针支架X/Y/Z 方向行程,通过显微镜观察,使探针对准检测点后,即可进行检测

真空腔体

腔体材质

304不锈钢

上盖开启

铰链侧开

加热台材质

304不锈钢

内腔体尺寸

φ160x90mm 

观察窗尺寸

Φ70mm

加热台尺寸

φ60mm

观察窗热台间距

75mm

加热台温度

35-350

加热台温控误差

±1

真空度

机械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

允许正压

≤0.1MPa

真空抽气口

KF25真空法兰

气体进气口

3mm-6mm卡套接头

电信号接头

SMA转BNC X 4

电学性能

绝缘电阻 ≥4000MΩ   介质耐压 ≤500V

探针数量

4探针

探针材质

钨针  

探针尖

10μm

探针移动平台

X轴移动行程

30mm    ±15mm

X轴控制精度

≤0.01mm 

Y轴移动行程

13mm    ±12.5mm

Y轴控制精度

≤0.01mm 

Z轴移动行程

13mm    ±12.5mm

Z轴控制精度

≤0.01mm 

电子显微镜

显微镜类别

物镜

物镜倍数

0.7-4.5

工作间距

90mm

相机

sony 高清

像素

1920※1080像素

图像接口

VGA

LED可调光源

显示屏

8

放大倍数

19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm

 

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