多种气体流量计混合配比器

  多种气体流量计混合配比器模拟式质量流量控制器是是中国早的气体测控产品，迄今为止已经30多年。 产品种类50余种，涵盖数字型，普通型，大量程型，高精度型，快响应型，耐压型，金属密封型等多种类型的需求。产品历经市场考验，广泛应用于半导体、真空、太阳能、分析仪器、光电、制气、石化、医疗、食品、航空电力等行业，已经成为支撑各工业领域行业发展的重要设备。

产品用途;
  多种气体流量计混合配比器和气体质量流量计（MFM）用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环 保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 集成电路工 艺设备, 如外延炉、扩散炉、CVD、等离子刻蚀机、溅射台、离子注入机; 以及镀膜设备、 光纤熔炼设备、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及 其它分析仪器。

气体质量流量控制器（MFC）和气体质量流量计（MFM）用于对气体的质量流量进行 精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环 保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 集成电路工 艺设备, 如外延炉、扩散炉、CVD、等离子刻蚀机、溅射台、离子注入机; 以及镀膜设备、光纤熔炼设备、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及 其它分析仪器。