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产品简介
                  小型溅射仪郑州科探KT-Z1650PVD,能够在非导电或导电不良的样品上涂布金(Au),钯(Pd),铂(Pt)和金/钯(Au / Pd)的薄膜。 在较短时间内即可形成具有细粒度的均匀薄膜,使样品适用于扫描电子显微镜(SEM)分析。仪器结构紧凑,全自动控制,设计符合人体工程学,所得结果一致,可重复性高。
| 品牌 | 郑科探 | 溅射气体 | 根据需求气体 | 
|---|---|---|---|
| 样品台尺寸 | φ50mm | 控制方式 | 触摸屏智能控制 | 
| 样品仓尺寸 | φ160x160mm | 靶材尺寸 | 50mm | 
| 靶材材质 | 金 铂 铜 银 | 价格区间 | 1-5万 | 
| 产地类别 | 国产 | 应用领域 | 化工,电子/电池 | 
一、公司背景介绍:
(1)郑州科探仪器设备是高质量定制物理气相沉积(PVD)系统的设计者和制造商,客户服务和售后服务出色。拥有7年以上真空和薄膜沉积技术经验。其研发团队在学界科学家和工程师的支持下,高度积极地开发新设计以满足客户的特殊要求。
(2)郑科探的工程团队设计和制造的组件符合高质量标准。KT-Z1650PVD真空镀膜机已通过分销商销往许多大学和研究中心,并得到了很好的参考和反馈。
二、仪器描述:小型溅射仪郑州科探KT-Z1650PVD,能够在非导电或导电不良的样品上涂布金(Au),钯(Pd),铂(Pt)和金/钯(Au/Pd)的薄膜。在较短时间内即可形成具有细粒度的均匀薄膜,使样品适用于扫描电子显微镜(SEM)分析。仪器结构紧凑,全自动控制,设计符合人体工程学,所得结果一致,可重复性高。
三、产品特点:
彩色触摸屏:数据输入简单快速。
通过触摸屏中直观检测数据和曲线;历史页面可显示历史涂层信息。
可控镀膜速率,可得到更精细的晶粒结构。
可手动或自动,根据时间或根据厚度进行溅射。
样品台更换简单:标准旋转样品台或选用行星式旋转样品台。
标准样品台高度可调、可倾斜、可旋转;行星式旋转样品台为多孔样品带来好的喷金效果。

四、小型溅射仪郑州科探KT-Z1650PVD厂家供应技术参数:
控制方式  | 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制  | 
溅射电源  | 直流溅射电源  | 
镀膜功能  | 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序  | 
功率  | ≤1000W  | 
输出电压电流  | 电压≤1000V 电流≤1A  | 
真空  | 机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵≤5*10^-3Pa  | 
溅射真空  | ≤30Pa  | 
挡板类型  | 电控  | 
真空腔室  | 不锈钢腔体φ160mm x 170mm  | 
样品台  | 可旋转φ62 (可安装φ50基底)  | 
样品台转速  | 8转/分钟  | 
样品溅射源调节距离  | 40-105mm  | 
真空测量  | 皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa)  | 
预留真空接口  | KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口  |