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小型蒸镀仪

产品时间:2020-04-25

简要描述:

小型蒸镀仪特别适合蒸镀一些轻金属,如、Al、Mg、和Li等;同时也可对样品进行镀碳处理,最大可处理的样品直径为50mm。

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       小型蒸镀仪特别适合蒸镀一些轻金属,如AlMgLi等;同时也可对样品进行镀碳处理,最大可处理的样品直径为50mm

 

      KT-Z1650PVD是一款小型台式溅射功率可控磁控溅射仪,仪器虽小功能齐全,配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。通过定时调节预溅射功率及薄膜沉积功率,可对大部分金属进行均匀物理沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜。

 

 

小型蒸镀仪

 

产品型号

小型蒸镀仪

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地

3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上)清洗,需自备氩气气瓶

4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上

5、通风装置:需要

主要特点

1、配有直连式双旋机械泵(装有油污过滤器和防回油装置),可使真空腔体真空度达到10-2torr。

2、配有KF25波纹管和卡箍。

3、可进行镀碳处理。

技术参数

1、输入电压:AC208V-240V 50/60Hz

2、功率:<2000W

3、真空腔体:熔融玻璃管

4、载物台:50mm

5、最大蒸镀区域:45mm

6、钨丝舟:3个

7、真空度:10-2torr(双旋机械泵)

产品规格

 

标准配件

1

钨丝舟

3个

2

碳纤维

1根

注意事项

1、对于蒸镀对氧较敏感的材料,建议使用涡旋分子泵。

2、为了达到较高的无氧环境,至少要用高纯惰性气体对真空腔体清洗3次。

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