小型真空探针台

产品简介

小型真空探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本

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更新时间：2023-12-18

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品牌	郑科探

小型真空探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本

小型真空探针台的承片台X/Y/Z三个方向均可在真空环境下调节，其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－13mm；z方向调节范围：0－13mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。

实验腔体
腔体材质	304不锈钢
上盖开启	铰链侧开
内腔体尺寸	φ140x180
加热台材质	304不锈钢
观察窗尺寸	φ75
加热台尺寸	50x50
加热台温度	室温-350℃可调
加热台温控误差	±1℃
真空度	机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
真空抽气口	KF25
气体进气口	3mm-6mm卡套接头
进气阀门	高精密针阀
抽气阀门	KF25真空挡板阀
压力表	机械压力表 -0.1-0.15mpa
信号电极	4个
探针数量	4个
探针材质	φ1.5钨针其他材质可选
探针移动平台
X轴移动行程	30mm ±15mm
X轴控制精度	≤0.1MM
Y轴移动行程	13MM ±6.5mm
Y轴控制精度	≤0.05MM
Z轴移动行程	13mm ±6.5mm
Z轴控制精度	≤0.05MM
信号电极
电极芯	1芯
电极引出接头	BNC母头
电极引出线	铜网信号屏蔽线
BNC引出接头	X4
额定电流	≤5A
额定电压	≤220V
电极芯直径	φ1mm
接触电阻	≤5MΩ
绝缘电阻	≥1000 MΩ
外壳接地	是
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