郑科探KT-Z85-RL真空测试腔介绍

一：功能要求

KT-Z85该腔体设计有进气口和抽真空接口和2-4芯信号真空电极，最多可选用8芯电极。使用时将需检测的器件固定在加热台上，需自行将引入腔体的信号线连接到测试器件的引脚处，外部信号线连接测试仪器来测试电子信号。

二：主要技术要求

真空腔体

1.腔体材质：304不锈钢

2.腔体内尺寸：Φ88mmX59mm

3.腔体外尺寸：Φ112X65mm

4.腔体重量：约2.6KG

5.腔体上视窗尺寸：Φ47mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）

6.腔体抽气口：可扩展KF16法兰 KF25法兰

7.腔体真空测量口：KF16法兰（其余接口规格可转接）

8.腔体进气口：公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 硅胶薄膜液体注射口 气管接头可选

9.腔体电接口：5KV高压电极，4芯8A气密封信号接口，8芯4A气密封信号接口，

10.腔体正压：≤0.1MPa

11.腔体真空度：机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）