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操作需谨慎!小型蒸镀仪操作时需要注意这些

更新时间:2023-11-25浏览:360次

  小型蒸镀仪的工作环境需要保持极低的气压,通常在10-4至10-7帕之间。这种低气压环境能够有效减少氧气和水蒸气对材料表面的反应,从而避免蒸镀过程中可能产生的氧化等不良反应。真空系统通常由泵、阀门、压力计和真空室等组成。
 
  小型蒸镀仪的使用方法:
 
  1.准备工作:先将蒸镀仪所需的材料和设备准备齐全,如镀膜材料、基底材料、控制系统等。
 
  2.装载基底:将待镀膜的基底材料放置在蒸镀仪的样品台上,确保基底表面干净且无硬性颗粒。
 
  3.准备镀膜材料:根据实际需要,选择合适的镀膜材料,并将其放置在蒸镀仪的热源中。
 
  4.抽真空:打开蒸镀仪的抽气系统,通过抽真空将腔室内的气体排空,直至达到所需的真空度。
 
  5.加热热源:打开蒸镀仪的加热系统,将镀膜材料加热至其蒸发温度,使其逐渐蒸发。
 
  6.沉积薄膜:在基底处形成蒸气气氛后,蒸发的镀膜材料会沉积在基底上,形成薄膜。
 
  7.控制沉积速度:通过控制加热功率、抽气速度以及蒸发源与基底的距离等参数,来控制薄膜的沉积速度和质量。
 
  8.结束沉积:根据需要,当达到设定的薄膜厚度或所需的沉积时间后,关闭加热系统和抽气系统,结束沉积过程。
 
  9.冷却样品:待沉积结束后,可以通过冷却系统对样品进行降温,以快速冷却薄膜并固化。
 
  10.取出样品:沉积完毕后,将基底取出,注意避免对薄膜的损伤。
 
  需要注意的是,使用小型蒸镀仪时应严格按照设备的操作手册进行操作,并注意安全事项,避免发生危险或损坏设备。在使用过程中,还需要不断优化和调整操作参数,以获得所需的膜层性能。
小型蒸镀仪

 

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