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等离子清洗机优势

更新时间:2023-11-16点击次数:653

等离子清洗机的优势:

1:真空度:用皮拉尼原理测量精确到Pa,千帕是用压力规测试,不是一个量级的。

2:传感器:用的进口的气体流量传感器,是质量流量计检测气体,精确度是通入流量的±1.5%。浮子流量计,是满量程的4%,而且浮子球是上下浮动,手碰一下乱跑,真实效果达不了那么高。

4:功率是150W,国内都是统一的。

5:2路流量计,质量流量计采集更精准,流量控制 2个精密针阀调节,线性调节度较好。

6: 真空采集皮拉尼原理真空计,测量大气压到0.1Pa的绝对真空。   

7: 通过精准的流量检测及真空采集 使自动控制一气呵成,通过检测固定的真空值让射频辉光,即使是手动匹配射频电源,也只需要匹配一次,下次相同工艺,基本不需要再次调节匹配 。

等离子腔.jpg1.jpg

问:清洗光刻胶可以吗?

答:简单的理解就是用氧气把光刻胶燃烧掉,光刻胶的基本成分是碳氢有机物,在射频或微波作用下,氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应,生成一氧化碳,二氧化碳和水等,再通过泵被真空抽走,完成光刻胶的去除。

问:可以去除表面杂质和一些胶嘛?

答:这个就是清洗半导体芯片表面缠杂的胶和杂质,可以去除纳米级别的微小的胶和其它颗粒或者薄膜。

问:操作方便嘛

答:操作很方便。开关打开后,石英腔体抽真空,然后产生等离子,等离子和表面的污染物产生反应,产生废气,真空泵把废气抽走,等离子清洗机里面有一个托盘,咱们把产品放托盘上面,就可以清洗了。