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mini型磁控溅射仪

简要描述:mini型磁控溅射仪KT-Z1650PVD,桌面式设计小巧却功能齐全。触摸屏控制功率,样品台0-8转/分旋转,自动电动样品挡板等。

  • 产品型号:KT-Z1650PVD
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-06-07
  • 访  问  量:292
详细介绍
品牌郑科探溅射气体根据需求通气
样品台尺寸50mm控制方式触摸屏智能控制
样品仓尺寸φ160x160mm靶材尺寸50mm
靶材材质金 铂 铜 银 等价格区间面议
产地类别国产应用领域综合

mini型磁控溅射仪KT-Z1650PVD该设备集磁控溅射与离子镀膜技术为一体,对提高颜色一致性、沉积速率及化合物成份的稳定性提供了解决方案。设备具有外形美观、结构紧凑、占地面积小、自动化程度高、操作简单灵活、性能稳定、易维护等特点设备可适用于不锈钢、水镀五金件/塑胶件、玻璃、陶瓷等材质;可制备单质金属层如钛、铬、银、铜或金属化合物膜层如TiN/TiCN/TiC/TiO2/TiAlN/CrN/ZrN/CrC等;可实现深黑色、炉内金、玫瑰金、仿金、锆金、宝石蓝、亮银色等颜色。

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mini型磁控溅射仪KT-Z1650PVD厂家供应技术参数;

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

溅射电源

直流溅射电源

镀膜功能

0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

功率

≤1000W

输出电压电流

电压≤1000V  电流≤1A

真空

机械泵 ≤5Pa(5分钟)   分子泵≤5*10^-3Pa

溅射真空

≤30Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm

样品台

可旋转φ62  (可安装φ50基底)

样品台转速

8转/分钟

样品溅射源调节距离

40-105mm

真空测量

皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa  1E-1Pa)

预留真空接口

KF25抽气口    KF16放气口   6mm卡套进气口


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