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桌面式磁控溅射仪

简要描述:桌面式磁控溅射仪KT-Z1650PVD,外形小巧方便移动,触摸屏控制工艺记忆储存,自动电动挡板阀保护样品,石英腔室更加洁净方便清洁。

  • 产品型号:KT-Z1650PVD
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-06-07
  • 访  问  量:71
详细介绍
品牌郑科探溅射气体根据需求通气
样品台尺寸50mm控制方式触摸屏智能控制
样品仓尺寸φ160x160mm靶材尺寸50mm
靶材材质金 铂 铜 银 等价格区间面议
产地类别国产应用领域化工,综合

桌面式磁控溅射仪KT-Z1650PVD离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统,对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时,交换试样与阴极的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁,之后试样复原,再进行溅射镀膜。铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴极材料,有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴极材料,氧气为离子溅射仪常用的反应气体。

*外形小巧方便移动

*触摸屏控制,工艺记忆储存方便镀相同样品

*自动化电动挡板,能自动打开关闭,保证镀样时间和保护样品

*石英+不锈钢腔体,方便观察和清洗

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桌面式磁控溅射仪KT-Z1650PVD厂家供应技术参数;

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

溅射电源

直流溅射电源

镀膜功能

0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

功率

≤1000W

输出电压电流

电压≤1000V  电流≤1A

真空

机械泵 ≤5Pa(5分钟)   分子泵≤5*10^-3Pa

溅射真空

≤30Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm

样品台

可旋转φ62  (可安装φ50基底)

样品台转速

8转/分钟

样品溅射源调节距离

40-105mm

真空测量

皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa  1E-1Pa)

预留真空接口

KF25抽气口    KF16放气口   6mm卡套进气口




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