等离子清洗机的使用流程主要包括准备、参数设置、操作运行、结束处理几个核心步骤。具体如下：
一、准备工作
1. 设备检查：确保等离子清洗机各部件完好，电源插头正确插入且电压符合要求(通常为AC220V±10%)，气源供应充足且连接无泄漏。检查气体管路(如氩气、氧气、氮气)是否紧密，可通过肥皂水涂抹接头处检测气泡以确认密封性。同时，需确保设备接地良好，避免漏电风险。
2. 样品准备：清理待清洗样品表面的大块杂质(如灰尘、油污)，可用无水乙醇擦拭后晾干。将样品固定在样品架上，确保表面无遮挡且均匀暴露于等离子体中，随后将其置于反应腔中心位置，避免靠近电极。对于小型物体，可使用夹具或托盘固定，防止清洗过程中移动。
3. 环境与耗材确认：打开通风橱或排气装置，避免等离子体反应产生的气体污染环境。检查气体钢瓶压力(通常需保持0.2-0.5MPa)，确认反应腔门密封垫干净无破损，实验环境应无强烈振动或粉尘。
二、参数设置
1. 模式选择：根据清洗需求选择合适的工作模式(如常规清洗、深度清洗)或气体类型(如氧气用于除油污，氩气用于表面活化，复合清洗可选氩气+氧气混合)。
2. 参数调整：
- 功率：硬质样品选高功率(如300W)，软质或热敏样品选低功率(如50W)；
- 时间：轻度污染设定短时间(30秒-2分钟)，重度污染延长至10分钟；
- 真空度：通常维持在10-100Pa范围；
- 气体流量：一般设定为10-50sccm，避免流量过大破坏真空或过小导致等离子体浓度不足[^2^]。部分机型支持分段参数设置(如先低功率预处理再高功率清洗)。
三、启动运行
1. 抽真空：关闭反应腔门，启动真空泵，将腔体内压力抽至设定值(如20Pa)。完成后仪器会自动提示(指示灯亮或蜂鸣)。
2. 通气电离：通入工作气体并维持稳定流量，启动射频电源激发气体产生等离子体。此时反应腔内会出现微弱辉光，属正常现象。
3. 实时监控：通过屏幕观察真空度、气体流量、功率及剩余时间等参数，确保无异常(如真空度不达标或气体泄漏)。部分机型具备自动报警功能，遇异常会停机保护。
四、结束处理
1. 关机泄压：清洗结束后，关闭射频电源和气体阀门，仪器自动进入泄压流程(通入少量惰性气体平衡内外压力)。泄压完成后方可打开腔门。
2. 取件检查：佩戴防护手套取出样品，观察表面状态(如是否干燥、无残留)，可通过水滴接触角测试验证清洗效果。若需连续处理多个样品，可直接重复“抽真空→清洗”步骤，无需关闭总电源。
3. 清洁维护：用干净抹布擦拭反应腔门密封垫和样品架，清理腔内粉尘残留。关闭气体钢瓶阀门，停止真空泵并切断总电源，完成收尾。
等离子清洗机的操作流程标准化且智能化，核心在于前期准备与参数适配。用户需根据样品材质(硬/软、耐温性)和清洗目标(除油、活化、刻蚀)灵活调整参数，同时严格遵守安全规范(如佩戴护目镜、手套)。定期维护设备(如检查密封性、清洁反应腔)可显著延长机器使用寿命并保障清洗效果稳定性。
更新时间：2025-12-10
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