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等离子清洗机 郑州 科探

简要描述:等离子清洗机 郑州 科探KT-S2DQX由于等离子体中的电子、离子和自由基等活性粒子的存在,其本身很容易与固体表面发生反应。等离子体清洗主要是依靠等离子体中活性粒子的“活化作用"达到去除物体表面污渍的目的。

  • 产品型号:KT-S2DQX
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-04-19
  • 访  问  量:182
详细介绍
品牌郑科探产地类别国产
应用领域化工,电子

等离子体清洗的机理:

1、什么是等离子体

等离子体是物质的一种存在状态,通常物质以固态、液态、气态3种状态存在,但在一些特殊的情况下可以以第四种状态存在,如太阳表面的物质和地球大气中电离层中的物质。这类物质所处的状态称为等离子体状态,又称为物质的第四态。

等离子体中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;分子解离反应过程中生成的紫外线;未反应的分子、原子等,但物质在总体上仍保持电中性状态。


2、等离子体清洗的机理

由于等离子体中的电子、离子和自由基等活性粒子的存在,其本身很容易与固体表面发生反应。等离子体清洗主要是依靠等离子体中活性粒子的“活化作用"达到去除物体表面污渍的目的。

就反应机理来看,等离子体清洗通常包括以下过程:无机气体被激发为等离子态;气相物质被吸附在固体表面;被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子;产物分子解析形成气相;反应残余物脱离表面。

等离子清洗机 郑州 科探KT-S2DQX

小型等离子清洗机具有成本低廉、操作灵活的特点, 与动辄十几万美元的大型产品相比小型等离子清洁小型机具有以下优点:

1、可以更灵活地操作,简便地改变处理气体的种类和处理程序。

2、不会对人员的身体造成任何伤害。

3、其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。

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等离子清洗机 郑州 科探KT-S2DQX参数

供电电源

AC220V(AC110V可选)

工作电流

整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)

射频电源功率

150W

射频频率

13.56MHz

频率偏移量

<0.2MHz

特性阻抗

50欧姆,手动匹配

耦合方式

电容耦合

真空度

≤100Pa

腔体材质

高纯石英

腔体容积

2L(内径110MMX深度220MM)

观察窗内径

Φ65

气体流量

10—100ml/min(其他量程可选)

过程控制

过程手动控制

清洗时间

手动开关

开盖方式

铰链侧开式法兰

外形尺寸

400x380x360mm

重量

23Kg

真空室温度

小于65°C

冷却方式

强制风冷

标配

KF16真空管1米,kf16卡箍2个,不锈钢网匣1个,电源线一根,说明书一本。


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