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小型离子溅射仪 郑州 科探

简要描述:小型离子溅射仪 郑州 科探KT-Z1650PVD在磁控溅射中,由于运动电子在磁场中受到洛仑兹力,它们的运动轨迹会发生弯曲甚至产生螺旋运动,其运动路径变长,因而增加了与工作气体分子碰撞的次数,使等离子体密度增大,从而磁控溅射速率得到很大的提高,而且可以在较低的溅射电压和气压下工作。

  • 产品型号:KT-Z1650PVD
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-04-19
  • 访  问  量:41
详细介绍
品牌郑科探溅射气体根据需求气体
样品台尺寸φ50mm控制方式触摸屏智能控制
样品仓尺寸φ160x160mm靶材尺寸50mm
靶材材质金 铂 铜 银价格区间1-5万
产地类别国产应用领域化工,电子

小型离子溅射仪 郑州 科探KT-Z1650PVD

离子溅射仪功能:

一个更加广泛的选择由于全自动直流离子溅射仪在制样过程中被提供给了扫描电镜用户,从而为扫描电子显微镜所需的涂层要求的适用提供了支持。在结构设计及人机界面方面简单智能,对人性更加的注重。一个低成本的解决方案由于离子溅射仪对SEM样品常规适用黄金溅射被提供了,与此同时能够利用对金、铂、铱、银、铜等不同的靶材的更换来使得更细颗粒的涂层达到。与此同时,利用智能的人机界面对仪器的控制更加的方便、简单以及精确,与此同时,能够对镀层厚度进行估算,对真空实时显,溅射电流对溅射时间进行设定,对靶材的剩余情况进行计算。

 

离子溅射仪在扫描电镜(SEM)的样品喷金方便为专用的仪器,样品的导电性及导热性可以非常有效的提供,使恒沉积速率得到确保,使等离子体对样品的热影响和离子轰击损伤减少,使扫描电镜观测结果得到了较为显著的提高。

产品特点:


彩色触摸屏:数据输入简单快速

    • 通过触摸屏中直观检测数据和曲线;历史页面可显示历史涂层信息。

    • 可控镀膜速率,可得到更精细的晶粒结构

    • 可手动或自动,根据时间或根据厚度进行溅射

• 样品台更换简单:标准旋转样品台或选用行星式旋转样品台。标准样品台高度可调、可倾斜、可旋转;行星式旋转样品台为多孔样品带来好的喷金效果。

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小型离子溅射仪 郑州 科探KT-Z1650PVD厂家供应技术参数;

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

溅射电源

直流溅射电源

镀膜功能

0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

功率

≤1000W

输出电压电流

电压≤1000V  电流≤1A

真空

机械泵 ≤5Pa(5分钟)   分子泵≤5*10^-3Pa

溅射真空

≤30Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm

样品台

可旋转φ62  (可安装φ50基底)

样品台转速

8转/分钟

样品溅射源调节距离

40-105mm

真空测量

皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa  1E-1Pa)

预留真空接口

KF25抽气口    KF16放气口   6mm卡套进气口


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