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射频电源光刻胶清洗等离子清洗机

产品简介

射频电源光刻胶清洗等离子清洗机,不同气体的等离子体具有不同的化学性能,如氧气的等离子体具有很高的氧化性,能氧化光刻胶反应生成气体,从而达到清洗的效果。

产品型号:KT-S2DQX
更新时间:2024-04-30
厂商性质:生产厂家
访问量:657
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品牌郑科探产地类别国产
应用领域综合
射频电源光刻胶清洗等离子清洗机介绍

等离子体清洗的机理,主要是依靠等离子体中活性粒子的"活化作用"达到去除物体表面污渍的目的。等离子体清洗通常包括以下过程:无机气体被激发为等离子态;气相物质被吸附在固体表面;被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子;产物分子解析形成气相;反应残余物脱离表面。等离子体清洗技术的最大特点是不分处理对象的基材类型,均可进行处理,对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料,可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。

射频电源光刻胶清洗等离子清洗机

射频电源光刻胶清洗等离子清洗机参数

供电电源

AC220V(AC110V可选)

工作电流

整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)

射频电源功率

150W

射频频率

13.56MHz

频率偏移量

<0.2MHz

特性阻抗

50欧姆,手动匹配

耦合方式

电容耦合

真空度

≤50Pa

腔体材质

高纯石英

腔体容积

2L(内径110MMX深度220MM)

观察窗内径

Φ50

气体流量

0—50ml/min(其他量程可选)

过程控制

过程手动控制

清洗时间

手动开关

开盖方式

铰链侧开式法兰

外形尺寸

450x450x360mm

重量

23Kg

真空室温度

小于65°C

冷却方式

强制风冷

标配

KF16真空管1米,kf16卡箍2个,不锈钢网匣1个,电源线一根,说明书一本。










 

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