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大型旋转等离子清洗机

简要描述:大型旋转等离子清洗机,13.56MHz,150W手动匹配,高纯石英腔体,工作真空≤50Pa.

  • 产品型号:KT-G1DQX
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-06-28
  • 访  问  量:111
详细介绍
品牌郑科探产地类别国产
应用领域综合

大型旋转等离子清洗机

等离子体清洗的机理,主要是依靠等离子体中活性粒子的"活化作用"达到去除物体表面污渍的目的。等离子体清洗通常包括以下过程:无机气体被激发为等离子态;气相物质被吸附在固体表面;被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子;产物分子解析形成气相;反应残余物脱离表面。

等离子体清洗技术的最大特点是不分处理对象的基材类型,均可进行处理,对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料,如聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地处理,并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。

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大型旋转等离子清洗机KT-G1DQX

供电电源

AC220V(AC110V可选)

工作电流

整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)

射频电源功率

150W

射频频率

13.56MHz

频率偏移量

<0.2MHz

特性阻抗

50欧姆,手动匹配

耦合方式

电容耦合

真空度

≤50Pa

腔体材质

高纯石英

腔体容积

Φ100mmX200mm

旋转速度

20转/分钟

气体流量

0—300ml/min

过程控制

手动控制

清洗时间

手0-999秒

外形尺寸

615X390X560mm

重量

56Kg

真空室温度

小于65°C

冷却方式

强制风冷

标配

KF16真空管1米,kf16卡箍2个,不锈钢网匣1个,电源线一根,说明书一本。




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