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气体配比器质量流量计，采用触摸屏控制，五段时间调节不同流量，使配气更及时，更简单，
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温控真空加热腔机械加工，304不锈钢腔体，搭配温控器，有进出气接口和压力检测接口，上面配有石英观察窗
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