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小型高温蒸镀仪

产品简介

小型高温蒸镀仪,钨舟加热,或者坩埚加热,温度可达1800度,带样品台旋转功能,使镀膜更加均匀

产品型号:KT-Z1650CVD
更新时间:2024-03-27
厂商性质:生产厂家
访问量:889
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品牌郑科探产地类别国产
应用领域综合

小型高温蒸镀仪,钨舟加热,或者坩埚加热,温度可达1800度,带样品台旋转功能,使镀膜更加均匀,

软件自动操控、高性价比,非常适合实验室科研使用。
通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面,称为热蒸发镀膜,热蒸发镀膜技术是历史最悠久的PVD镀膜技术之一。热蒸发镀膜机一般主要用于蒸发CdPbAgAlCuCrAuNi等材料。


    专业真空蒸发电源,数显工作电流和电压,恒流输出;

    可定制一体化高精度刻蚀掩膜板;

    衬底可选择加热或水冷,源基距≥300mm

    可调速旋转靶台使薄膜更均匀

    可沉积金属(Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Fe, Cr, Ni等)、非金属、化合物(MoO3, LiF等)及有机物材料,可拓展沉积单层膜、多层膜及混合膜;

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不同真空度 不同镀膜时间镀铜样品图

637858771737832260197.png   原样品没有镀膜                       637858771732996198687.png  115A 100秒 机械泵

637858771732840196319.png115A 100秒 分子泵抽12分钟    637858771732684194803.png  115A 120秒 分子泵抽20分钟


真空度越高 越不易氧化 越接近金属本色


小型高温蒸镀仪KT-Z1650CVD

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

加热方式

数字式功率调整器

镀膜功能

0-9995段可变换功率及挡板位和样品速度程序

最大功率

1200W

最大输出电压电流

电压≤12V  电流≤120A

真空度

机械泵 ≤5Pa5分钟)   分子泵≤10^-3Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm

样品台

可旋转φ62  (最大可安装φ50基底)

样品台转速

8/分钟

样品蒸发源调节距离

70-140mm

蒸发温度调节

1800

支持蒸发坩埚类型

钨丝蓝  带坩埚钨丝蓝  钨舟  碳绳  

预留真空接口

KF25抽气口  KF16真空计接口  KF16放气口 6mm卡套进气口

可选配扩展

机械真空泵(可抽真空 5分钟<5Pa  

数显真空计(测量范围大气压到0.1Pa

分子泵机组(可抽真空20分钟≤5x10-3Pa



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