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大功率桌面溅射仪

简要描述:大功率桌面溅射仪,采用小电流高电压,最大功率1000w,配有水冷机接口,可长时间运行

  • 产品型号:KT-Z1650PVD
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-10-10
  • 访  问  量:203
详细介绍
品牌郑科探价格区间面议
产地类别国产应用领域综合

大功率桌面溅射仪,采用小电流高电压,最大功率1000w,配有水冷机接口,可长时间运行。该产品为台式磁控溅射镀膜机,能够在非导电或导电不良的样品上涂布金(Au),钯(Pd),铂(Pt)和金/钯(Au / Pd)的薄膜。 在较短时间内即可形成具有细粒度的均匀薄膜,使样品适用于扫描电子显微镜(SEM)分析。仪器结构紧凑,全自动控制,设计符合人体工程学,所得结果一致,可重复性高。

主要特点:

轻便、溅射面积大
靶材可按用户要求加工制作

小型离子溅射仪信息由南京舜仪实验设备有限公司为您提供,如您想了解更多关于小型离子溅射仪报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。


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大功率桌面溅射仪技术参数;

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

溅射电源

直流溅射电源

镀膜功能

0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

功率

≤1000W

输出电压电流

电压≤1000V  电流≤1A

真空

机械泵 ≤5Pa(5分钟)   分子泵≤5*10^-3Pa

溅射真空

≤30Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm

样品台

可旋转φ62  (可安装φ50基底)

样品台转速

8转/分钟

样品溅射源调节距离

40-105mm

真空测量

皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa  1E-1Pa)

预留真空接口

KF25抽气口    KF16放气口   6mm卡套进气口




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