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大功率桌面溅射仪

简要描述：大功率桌面溅射仪，采用小电流高电压，最大功率1000w，配有水冷机接口，可长时间运行

产品型号：KT-Z1650PVD
厂商性质：生产厂家
更新时间：2022-10-10
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详细介绍

品牌	郑科探	价格区间	面议
产地类别	国产	应用领域	综合

大功率桌面溅射仪，采用小电流高电压，最大功率1000w，配有水冷机接口，可长时间运行。该产品为台式磁控溅射镀膜机，能够在非导电或导电不良的样品上涂布金（Au），钯（Pd），铂（Pt）和金/钯（Au / Pd）的薄膜。在较短时间内即可形成具有细粒度的均匀薄膜，使样品适用于扫描电子显微镜（SEM）分析。仪器结构紧凑，全自动控制，设计符合人体工程学，所得结果一致，可重复性高。

主要特点：

轻便、溅射面积大
靶材可按用户要求加工制作

小型离子溅射仪信息由南京舜仪实验设备有限公司为您提供，如您想了解更多关于小型离子溅射仪报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

大功率桌面溅射仪技术参数；

控制方式	7寸人机界面手动自动模式切换控制
溅射电源	直流溅射电源
镀膜功能	0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
功率	≤1000W
输出电压电流	电压≤1000V 电流≤1A
真空	机械泵 ≤5Pa（5分钟）分子泵≤5*10^-3Pa
溅射真空	≤30Pa
挡板类型	电控
真空腔室	石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm
样品台	可旋转φ62 （可安装φ50基底）
样品台转速	8转/分钟
样品溅射源调节距离	40-105mm
真空测量	皮拉尼真空计（已安装测量范围10E5Pa 1E-1Pa）
预留真空接口	KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口

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