fA 级微弱信号变温真空测试系统应用

在低漏电半导体、薄膜与二维材料变温电学表征实验中，郑科探KT-Z1604T探针台可稳定支撑飞安级微弱信号测试。腔体与加热台选用304不锈钢制作，上盖采用铰链侧开结构，样品取放、腔体内部清理操作便捷。内腔尺寸φ160×90mm，配备Φ70mm观察窗，观察窗与热台间距75mm，实验期间能够直观查看样品与探针接触状态。加热台台面φ55×55mm，温度区间覆盖-196℃至400℃，温控误差±1℃，升、降温最高速率均为10℃/min，温度信息通过7寸人机界面实时呈现，变温过程可控性强。

实验环境可按需切换，机械泵独立工作时真空度≤5Pa，接入分子泵后可达到≤10⁻³Pa高真空；腔体支持≤0.01MPa微正压工况。抽气接口采用KF25真空法兰，进气口为3–6mm卡套接头，便于通入保护气或实验工艺气体。

电学指标保障微弱电流测试的可靠性，绝缘电阻≥4000MΩ，介质耐压≤500V，系统漏电流≤500fA。探针配置为4支，可拓展至5支，探针材质为镀金钨针，针尖可选10μm或50μm。探针三轴独立调节，X轴行程30mm，Y轴、Z轴行程均为25mm，三轴控制精度≤0.01mm，样品对位精准。

在氧化物晶体管、光电探测器、介质薄膜漏电等相关实验中，可完成变温I-V、微区漏电等测试，抑制寄生漏电带来的干扰，保障电学测试数据具备良好的重复性。