混合气体配比气体混配器流量流量配比可将多种气体安一定比例均匀混合后通入到管式炉中。各种气体的流量是通过精密的质量流量计来控制,流量计和混气罐都安装在一个移动柜内。此系列设备可用于搭建CVD系统,也可为...
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技术文章混合气体配比气体混配器流量流量配比可将多种气体安一定比例均匀混合后通入到管式炉中。各种气体的流量是通过精密的质量流量计来控制,流量计和混气罐都安装在一个移动柜内。此系列设备可用于搭建CVD系统,也可为...
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