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6探针气体环境密封真空探针台

产品时间:2020-06-22

简要描述:

6探针气体环境密封真空探针台 探针台 高温探针测试台 变温探针台真空高低温光电器件测试探针台

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6探针气体环境密封真空探针台  探针台 高温探针测试台 变温探针台真空高低温光电器件测试探针台

16探针气体环境密封真空探针台   测试腔、控温及加热系统

测试夹具要求:可实现XYZ移动;

测试腔:同时满足静态/动态测试,304不锈钢材质,可在紫外灯下保证气密性测试;

测试样品数:同时测试8个样品,可进行频率-阻抗测试、插指电极和场效应管测试;

测量温度:室温---300 ℃

控温精度:±1 ℃

显示精度:±0.1 ℃

测温传感器:PT100

 

2、气体配比器

流量计数量:5个,(根据客户需求标定 气体  量程    进气口和出气口) 

流量规格:500 ml/min

精准度:±1.0% S.P.(≥30% F.S.)±0.30% F.S.(30% F.S.)

重复精度:±0.2% F.S

响应时间:≤1 s

密封形式:金属密封

接头尺寸:6 mm

漏率:<1×10-8 Pa·m3/s

通讯接口:RS485

4、样品12*10mm,探针可移动范围x-y 1-10mmz3-5mm

5、每个样品上方一个紫外灯,四个灯连成灯串外置一个可控开关。紫外灯可更换,样品上方2cm

6、加热板上有个镀金衬底,用来连接栅极。

升温斜率:1-10 ℃/min

通讯类型:RS485

加热功率:500 W

测试腔容积<2 L

 

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