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真空低温探针台

产品时间:2020-05-29

简要描述:

真空低温探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本

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   真空低温探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本

    真空低温探针台的承片台X/Y/Z三个方向均可在真空环境下调节,其中X方向调节范围:0-30mm;y方向调节范围:0-13mm;z方向调节范围:0-13mm;用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上,再微调探针支架X/Y/Z 方向行程,通过显微镜观察,使探针对准检测点后,即可进行检测。

 

 

 

1、总体规格

尺寸:650mmW*650mmD*1500mmH(含支架)

自重:约80Kg

2、结构与特点

(1)真空腔体:真空度优于6×10-4Pa。降温后优于6×10-5Pa。留有2个用户法兰接口(可接入气体或者额外的电缆)

(2)探针控制:标配4个探针臂。调节范围50mm*50mm*30mm,调节精度优于10um。每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆

(3)显微镜模块:连续变倍单筒显微镜,光学放大倍率:1.4X~9X(使用1X附加物镜时),视频放大倍率约700倍。可选2X附加物镜。分辨率优于2um。全高清数字摄像头,带同轴照明和环形照明,带机械调焦和光学调焦

(4)变温样品台:50mm直径。变温范围:80K~400K。控温稳定性优于±0.02K

(5)可选配接入光纤,可将一根或几根电学探针替换为光纤

(6)系统直流漏电低于1pA

3、含进口分子泵机组、全量程真空规和智能温控仪

4、设备照片(因配置不同,照片仅供参考)

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