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气体环境密封 6探针真空探针台测试腔

产品时间:2020-06-16

简要描述:

流量计数量:5个,(根据客户需求标定 气体 量程 进气口和出气口) 气体环境密封 6探针真空探针台测试腔
流量规格:500 ml/min
精准度:±1.0% S.P.(≥30% F.S.)±0.30% F.S.(<30% F.S.)
重复精度:±0.2% F.S
响应时间:≤1 s
密封形式:金属密封
接头尺寸:6 mm
漏率:<1×10-8 Pa·m3/s
通讯接口:RS485

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1气体环境密封 6探针真空探针台测试腔

测试夹具要求:可实现XYZ移动;

测试腔:同时满足静态/动态测试,304不锈钢材质,可在紫外灯下保证气密性测试;

测试样品数:同时测试8个样品,可进行频率-阻抗测试、插指电极和场效应管测试;

测量温度:室温---300 ℃

控温精度:±1 ℃

显示精度:±0.1 ℃

测温传感器:PT100

升温斜率:1-10 ℃/min

通讯类型:RS485

加热功率:500 W

测试腔容积<2 L

2、气体环境密封 6探针真空探针台测试腔

流量计数量:5个,(根据客户需求标定 气体  量程    进气口和出气口) 

流量规格:500 ml/min

精准度:±1.0% S.P.(≥30% F.S.)±0.30% F.S.(30% F.S.)

重复精度:±0.2% F.S

响应时间:≤1 s

密封形式:金属密封

 

 

   探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本

 

   该探针台的承片台X/Y/Z三个方向均可在真空环境下调节,其中X方向调节范围:0-30mm;y方向调节范围:0-13mm;z方向调节范围:0-13mm;用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上,再微调探针支架X/Y/Z 方向行程,通过显微镜观察,使探针对准检测点后,即可进行检测。

接头尺寸:6 mm

漏率:<1×10-8 Pa·m3/s

通讯接口:RS485

4、样品12*10mm,探针可移动范围x-y 1-10mmz

5、每个样品上方一个紫外灯,四个灯连成灯串外置一个可控开关。紫外灯可更换,样品上方2cm

6、加热板上有个镀金衬底,用来连接栅极。

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