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等离子设备清洗机系统

简要描述：KT-S2DQX型等离子设备清属于13.56MHz的射频电源。作为一种精密干法清洗设备，主要应用于半导体、镀膜工艺、PCB制程、PCB制程、元器件封装前、COG前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗，塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。
该等离子设备清洗机系统仓体，容积为2升，结构为国际上的通用结构。采用了新型的外观结构设计和固态电源技术，使其有效容积增大

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厂商性质：生产厂家
更新时间：2023-03-23
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品牌	郑科探	产地类别	国产
应用领域	电子

KT-S2DQX型等离子清洗设备属于13.56MHz的射频电源。作为一种精密干法清洗设备，主要应用于半导体、镀膜工艺、PCB制程、PCB制程、元器件封装前、COG前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗，塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。

该等离子设备清洗机系统仓体，容积为2升，结构为国际上的通用结构。采用了新型的外观结构设计和固态电源技术，使其有效容积增大

等离子设备清洗机系统；

供电电源	AC220V（AC110V可选)
工作电流	整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)
射频电源功率	150W
射频频率	13.56MHz
频率偏移量	＜0.2MHz
特性阻抗	50欧姆，手动匹配
耦合方式	感应耦合式（线圈耦合）
真空度	≤100Pa
腔体材质	高纯石英
腔体容积	2L(内径110MMX深度220MM)
观察窗内径	Φ70
气体流量	10—600ml/min（其他量程可选）
过程控制	过程手动控制
清洗时间	手动开关
开盖方式	铰链侧开式法兰
外形尺寸	400x380x360mm
重量	23Kg
真空室温度	小于65°C
冷却方式	强制风冷
标配	KF16波纹管1米，kf16卡箍2个，电源线一根，说明书一本。

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