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高温蒸镀仪

简要描述:高温蒸镀仪,KT-Z1650CVD,石英+不锈钢腔体,触摸屏控制,工艺储存功能,自动电控挡板保护样品

  • 产品型号:KT-Z1650CVD
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-07-04
  • 访  问  量:89
详细介绍
品牌郑科探产地类别国产
应用领域综合

高温蒸镀仪,KT-Z1650CVD,石英+不锈钢腔体,触摸屏控制,工艺储存功能,自动电控挡板保护样品

在厚度为2nm (20埃)或更厚时膜是连续的。通常的沉积形式是加热碳或石墨棒。棒具有特定的形状以达到最大电流密度,使得它具有足够的温度来引起蒸发。基于这点,出现了细小的、亮的、热的碳颗粒。此系统需要用扩散泵或涡轮分子泵达到1x10-4 mbar或更高的真空度。
涡轮分子泵在K950X中作为标准配置,此泵作为机械真空泵的后级泵,真空为全自动控制,真空度优于1x10-5 mbar。可进行预热及除气控制,同时用瞬时蒸发开关使脉冲蒸发在用户控制下进行。
标准的旋转样品台可进行倾斜调节,非常容易适应各种样品座。

以下是不同真空度 不同镀膜时间镀铜样品图

637858771737832260197.png   原样品没有镀膜                       637858771732996198687.png  115A 100秒 机械泵

637858771732840196319.png115A 100秒 分子泵抽12分钟    637858771732684194803.png  115A 120秒 分子泵抽20分钟


真空度越高 越不易氧化 越接近金属本色


高温蒸镀仪KT-Z1650CVD

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

加热方式

数字式功率调整器

镀膜功能

0-9995段可变换功率及挡板位和样品速度程序

最大功率

1200W

最大输出电压电流

电压≤12V  电流≤120A

真空度

机械泵 ≤5Pa5分钟)   分子泵≤10^-3Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm

样品台

可旋转φ62  (最大可安装φ50基底)

样品台转速

8/分钟

样品蒸发源调节距离

70-140mm

蒸发温度调节

1800

支持蒸发坩埚类型

钨丝蓝  带坩埚钨丝蓝  钨舟  碳绳  

预留真空接口

KF25抽气口  KF16真空计接口  KF16放气口 6mm卡套进气口

可选配扩展

机械真空泵(可抽真空 5分钟<5Pa  

数显真空计(测量范围大气压到0.1Pa

分子泵机组(可抽真空20分钟≤5x10-3Pa



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