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大功率溅射仪

简要描述:大功率溅射仪,桌面式设计,触摸屏控制,石英+不锈钢腔体,溅射距离可调,自动电动挡板可保护样品和清洗靶材。

  • 产品型号:KT-Z1650PVD
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-07-08
  • 访  问  量:95
详细介绍
品牌郑科探溅射气体根据需求通气
样品台尺寸50mm控制方式触摸屏智能控制
样品仓尺寸φ160x160mm靶材尺寸50mm
靶材材质金 铂 铜 银 等价格区间面议
产地类别国产应用领域综合

大功率溅射仪,桌面式设计,触摸屏控制,石英+不锈钢腔体,溅射距离可调,自动电动挡板可保护样品和清洗靶材。

离子镀膜技术是PVD技术的一种,是指在PVD沉积过程中,被镀材料形成金属或者非金属等离子体(如Ti离子,N离子),等离子体在偏压电场的作用下,沉积在工件表面上。由于离子镀过程中,离子的能量更强,离子绕射性更好,膜层的结合力更好,膜层致密性也更好,膜层性能更好。

离子镀膜技术的应用非常广泛,常见的有:装饰性镀膜,工具模具硬质镀膜以及各种功能膜层。

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大功率溅射仪技术参数;

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

溅射电源

直流溅射电源

镀膜功能

0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

功率

≤1000W

输出电压电流

电压≤1000V  电流≤1A

真空

机械泵 ≤5Pa(5分钟)   分子泵≤5*10^-3Pa

溅射真空

≤30Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm

样品台

可旋转φ62  (可安装φ50基底)

样品台转速

8转/分钟

样品溅射源调节距离

40-105mm

真空测量

皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa  1E-1Pa)

预留真空接口

KF25抽气口    KF16放气口   6mm卡套进气口




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