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持久型小型溅射仪

简要描述:持久型小型溅射仪,石英玻璃腔体,溅射距离可调节,外接水冷机可持久溅射,触摸屏控制,溅射时间工艺记忆储存。

  • 产品型号:KT-Z1650PVD
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-06-20
  • 访  问  量:101
详细介绍
品牌郑科探溅射气体根据需求通气
样品台尺寸50mm控制方式触摸屏智能控制
样品仓尺寸φ160x160mm靶材尺寸50mm
靶材材质金 铂 铜 银 等价格区间面议
产地类别国产应用领域综合

持久型小型溅射仪

一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料,且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点,

      磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射,必须有效地提高气体的离化率。磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场,利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。

 

需要镀膜的样品

1、电子束敏感的样品:

主要包括生物样品,塑料样品等。SEM中的电子束具有较高能量,在与样品的相互作用过程中,它以热的形式将部分能量传递给样品。如果样品是对电子束敏感的材料,那这种相互作用会破坏部分甚至整个样品结构。这种情况下,用一种非电子束敏感材料制备的表面镀层就可以起到保护层的作用,防止此类损伤;

2、非导电的样品:

由于样品不导电,其表  面带有电子陷阱"  这种表面上的电子积累  被称为充电"。为了  消除荷电效应,可在样  品表面镀一层金属导电  层,镀层作为一个导电  通道,将充电电子从材  料表面转移走,消除荷  电效应。在扫描电镜成  像时,溅射材料增加信  噪比,从而获得更好的成像质量。637852830951780038369.jpg

持久型小型溅射仪厂家供应技术参数;

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

溅射电源

直流溅射电源

镀膜功能

0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

功率

≤1000W

输出电压电流

电压≤1000V  电流≤1A

真空

机械泵 ≤5Pa(5分钟)   分子泵≤5*10^-3Pa

溅射真空

≤30Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm

样品台

可旋转φ62  (可安装φ50基底)

样品台转速

8转/分钟

样品溅射源调节距离

40-105mm

真空测量

皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa  1E-1Pa)

预留真空接口

KF25抽气口    KF16放气口   6mm卡套进气口



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