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金属磁控溅射仪

简要描述：金属磁控溅射仪，外形小巧，功率电流大小可调，触摸屏控制，有工艺储存功能，外配水冷机可长时间工作。

产品型号：KT-Z1650PVD
厂商性质：生产厂家
更新时间：2023-09-08
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详细介绍

品牌	郑科探	溅射气体	根据需求通气
样品台尺寸	50mm	控制方式	触摸屏智能控制
样品仓尺寸	φ160x160mm	靶材尺寸	50mm
靶材材质	金铂铜银等	价格区间	面议
产地类别	国产	应用领域	综合

金属磁控溅射仪这是一种易于使用的基本仪器，用于SEM试样的镀金。它具有全可变电流控制、带暂停选项的数字过程定时器、可变高度试样台、铰链顶板和 O 形圈密封真空室。该控制装置允许独立于气体压力设置溅射电流，气体压力由手动泄漏阀单独调节。覆盖面和晶粒尺寸针对任何试样进行了优化,径目标的冷磁控管型磁头能够以最小的加热实现高效的溅射。镀膜时间由带有数字读数的定时器设置并存储在存储器中。真空状态和溅射电流显示在C触摸屏上。

金属磁控溅射仪厂家供应技术参数；

控制方式	7寸人机界面手动自动模式切换控制
溅射电源	直流溅射电源
镀膜功能	0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
功率	≤1000W
输出电压电流	电压≤1000V 电流≤1A
真空	机械泵 ≤5Pa（5分钟）分子泵≤5*10^-3Pa
溅射真空	≤30Pa
挡板类型	电控
真空腔室	石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm
样品台	可旋转φ62 （可安装φ50基底）
样品台转速	8转/分钟
样品溅射源调节距离	40-105mm
真空测量	皮拉尼真空计（已安装测量范围10E5Pa 1E-1Pa）
预留真空接口	KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口

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