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真空探针台

简要描述：真空探针台KT-Z160TZ，高温真空腔探针系统主要用于为被测芯片提供一个低温或者高温的变温测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中有效避免易受氧化半导体器件接触空气所带来的测试结果误差。

产品型号：KT-Z160TZ
厂商性质：生产厂家
更新时间：2022-06-02
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详细介绍

品牌	郑科探

真空探针台KT-Z160TZ主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。探针台从操作上来区分有：手动，半自动，全自动从功能上来区分有：温控探针台，真空探针台(低温探针台)，RF探针台，LCD平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台。普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。自动探针测试台在功能及组成上大同小异，即主要由x-y向工作台，可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成

高低温真空探针台应用：

可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析，如：半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。

· 结构紧凑，适用于各种变温测试
· -196℃~400℃（配液氮致冷模块）
· 气密腔室设计，可通保护气氛
· 4探针，手动定位（可扩展为6个）

· 支持改动或定制

真空探针台KT-Z160TZ参数

真空腔体
腔体材质	304不锈钢
上盖开启	铰链侧开
加热台材质	304不锈钢
内腔体尺寸	φ160x90mm
观察窗尺寸	Φ70mm
加热台尺寸	φ60mm
观察窗热台间距	75mm
加热台温度	﹣196~400℃
加热台温控误差	±1℃
真空度	机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
允许正压	≤0.1MPa
真空抽气口	KF25真空法兰
气体进气口	3mm-6mm卡套接头
电信号接头	SMA转BNC X 4
电学性能	绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V
探针数量	4探针
探针材质	钨针
探针尖	10μm
探针移动平台
X轴移动行程	30mm ±15mm
X轴控制精度	≤0.01mm
Y轴移动行程	13mm ±12.5mm
Y轴控制精度	≤0.01mm
Z轴移动行程	13mm ±12.5mm
Z轴控制精度	≤0.01mm
电子显微镜
显微镜类别	物镜
物镜倍数	0.7-4.5倍
工作间距	90mm
相机	sony 高清
像素	1920※1080像素
图像接口	VGA
LED可调光源	有
显示屏	8寸
放大倍数	19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm

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