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产品简介
真空探针台KT-Z160TZ，高温真空腔探针系统主要用于为被测芯片提供一个低温或者高温的变温测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中有效避免易受氧化半导体器件接触空气所带来的测试结果误差。
| 品牌 | 郑科探 |
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真空探针台KT-Z160TZ主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。探针台从操作上来区分有：手动，半自动，全自动从功能上来区分有：温控探针台，真空探 针台(低温探针台)，RF探针台，LCD平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台。普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。自动探针测试台在功能及组成上大同小异，即主要由x-y向工作台，可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成
高低温真空 探针台应用：
可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析，如：半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。
· 结构紧凑，适用于各种变温测试
· -196℃~400℃（配液氮致冷模块）
· 气密腔室设计，可通保护气氛
· 4探针，手动定位（可扩展为6个）
· 支持改动或定制
真空探针台KT-Z160TZ参数
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真空腔体 | |
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腔体材质 |
304不锈钢 |
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上盖开启 |
铰链侧开 |
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加热台材质 |
304不锈钢 |
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内腔体尺寸 |
φ160x90mm |
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观察窗尺寸 |
Φ70mm |
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加热台尺寸 |
φ60mm |
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观察窗热台间距 |
75mm |
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加热台温度 |
﹣196~400℃ |
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加热台温控误差 |
±1℃ |
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真空度 |
机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
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允许正压 |
≤0.1MPa |
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真空抽气口 |
KF25真空法兰 |
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气体进气口 |
3mm-6mm卡套接头 |
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电信号接头 |
SMA转BNC X 4 |
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电学性能 |
绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V |
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探针数量 |
4探针 |
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探针材质 |
钨针 |
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探针尖 |
10μm |
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探针移动平台 | |
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X轴移动行程 |
30mm ±15mm |
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X轴控制精度 |
≤0.01mm |
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Y轴移动行程 |
13mm ±12.5mm |
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Y轴控制精度 |
≤0.01mm |
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Z轴移动行程 |
13mm ±12.5mm |
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Z轴控制精度 |
≤0.01mm |
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电子显微镜 | |
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显微镜类别 |
物镜 |
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物镜倍数 |
0.7-4.5倍 |
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工作间距 |
90mm |
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相机 |
sony 高清 |
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像素 |
1920※1080像素 |
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图像接口 |
VGA |
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LED可调光源 |
有 |
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显示屏 |
8寸 |
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放大倍数 |
19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm |
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