品牌 | 郑科探 |
---|
真空探针台KT-Z160TZ主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。探针台从操作上来区分有:手动,半自动,全自动从功能上来区分有:温控探针台,真空探 针台(低温探针台),RF探针台,LCD平板探针台,霍尔效应探针台,表面电阻率探针台。普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。自动探针测试台在功能及组成上大同小异,即主要由x-y向工作台,可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成
高低温真空 探针台应用:
可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析,如:半导体/微电子,电子,机电,物理,化学,材料,光电,纳米,微机电/MEMS,生物芯片,航空航天等科学研究领域,以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。
· 结构紧凑,适用于各种变温测试
· -196℃~400℃(配液氮致冷模块)
· 气密腔室设计,可通保护气氛
· 4探针,手动定位(可扩展为6个)
· 支持改动或定制
真空探针台KT-Z160TZ参数
真空腔体 | |
腔体材质 | 304不锈钢 |
上盖开启 | 铰链侧开 |
加热台材质 | 304不锈钢 |
内腔体尺寸 | φ160x90mm |
观察窗尺寸 | Φ70mm |
加热台尺寸 | φ60mm |
观察窗热台间距 | 75mm |
加热台温度 | ﹣196~400℃ |
加热台温控误差 | ±1℃ |
真空度 | 机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
允许正压 | ≤0.1MPa |
真空抽气口 | KF25真空法兰 |
气体进气口 | 3mm-6mm卡套接头 |
电信号接头 | SMA转BNC X 4 |
电学性能 | 绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V |
探针数量 | 4探针 |
探针材质 | 钨针 |
探针尖 | 10μm |
探针移动平台 | |
X轴移动行程 | 30mm ±15mm |
X轴控制精度 | ≤0.01mm |
Y轴移动行程 | 13mm ±12.5mm |
Y轴控制精度 | ≤0.01mm |
Z轴移动行程 | 13mm ±12.5mm |
Z轴控制精度 | ≤0.01mm |
电子显微镜 | |
显微镜类别 | 物镜 |
物镜倍数 | 0.7-4.5倍 |
工作间距 | 90mm |
相机 | sony 高清 |
像素 | 1920※1080像素 |
图像接口 | VGA |
LED可调光源 | 有 |
显示屏 | 8寸 |
放大倍数 | 19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm |
扫一扫 微信咨询
©2023 郑州科探仪器设备有限公司 版权所有 备案号:豫ICP备16005325号-2 技术支持:化工仪器网 Sitemap.xml 总访问量:89189 管理登陆