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高温真空探针台

产品简介

高温真空探针台KT-Z1604TZ,可单选高温或低温等相应组件,温度可达到400℃。以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中有效避免易受氧化半导体器件接触空气所带来的测试结果误差。

产品型号:KT-Z1604TZ
更新时间:2024-03-29
厂商性质:生产厂家
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品牌郑科探

  高温真空探针台KT-Z1604TZ

  真空探针台可实现高真空环境下的高温及低温电学性能测量,真空腔一体成型,具有设计合理,真空度稳定,温控精度及机械精度高等特点;根据测试温度范围不同,可单选高温或低温等相应组件,温度可达到400℃,低温部分采用液氮或液氦冷却组件,温度可低至-196℃,;真空系统可选机械泵或分子泵系统,真空度可达到10-3Torr或10-6Tor。

  高低温真空探针台应用:

  可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析,如:半导体/微电子,电子,机电,物理,化学,材料,光电,纳米,微机电/MEMS,生物芯片,航空航天等科学研究领域,以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。

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高温真空探针台KT-Z1604TZ参数

 

 

真空腔体

 

腔体材质

 

304不锈钢

 

上盖开启

 

铰链侧开

 

加热台材质

 

304不锈钢

 

内腔体尺寸

 

φ160x90mm

 

观察窗尺寸

 

Φ70mm

 

加热台尺寸

 

φ60mm

 

观察窗热台间距

 

75mm

 

加热台温度

 

﹣196~350℃

 

加热台温控误差

 

±1℃

 

真空度

 

机械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

 

允许正压

 

≤0.1MPa

 

真空抽气口

 

KF25真空法兰

 

气体进气口

 

3mm-6mm卡套接头

 

电信号接头

 

SMA转BNC X 4

 

电学性能

 

绝缘电阻 ≥4000MΩ   介质耐压 ≤500V

 

探针数量

 

4探针

 

探针材质

 

钨针  

 

探针尖

 

10μm

 

探针移动平台

 

X轴移动行程

 

30mm    ±15mm

 

X轴控制精度

 

≤0.01mm

 

Y轴移动行程

 

13mm    ±12.5mm

 

Y轴控制精度

 

≤0.01mm

 

Z轴移动行程

 

13mm    ±12.5mm

 

Z轴控制精度

 

≤0.01mm

 

电子显微镜

 

显微镜类别

 

物镜

 

物镜倍数

 

0.7-4.5倍

 

工作间距

 

90mm

 

相机

 

sony 高清

 

像素

 

1920※1080像素

 

图像接口

 

VGA

 

LED可调光源

 

 

显示屏

 

8寸

 

放大倍数

 

19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm

 

 

 

 

 

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