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更新时间：2026-08-19
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探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
该探针台的承载台为28X28mm不锈钢台面，台面可升温到-190~400℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中X方向调节范围：0-13mm,y方向调节范围：0-13mm；z方向调节范围：0-13mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测
1． 类型：高低温型：-190~400℃ （高温型：室温～400℃选配）
2． 腔体材质：304不锈钢
3． 腔体内尺寸：φ90x40mm
4． 腔体上视窗尺寸：Φ42mm（选配凹视窗Φ22mm）
5． 腔体抽气口：KF16
6． 腔体进气口：公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选
7． 腔体出气口：公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选
8． 腔体正压：≤0.05MPa
9． 腔体真空度：机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）
10． 样品台材质：304不锈钢
11． 样品台尺寸：28X28mm
12． 样品台-视窗 距离：30mm（可选凹视窗间距15mm）
13． 样品台测温传感器：A/级PT100铂电阻
14． 样品台温度：室温到-190~400℃（可选高温样品台 高温400℃）
15． 样品台测温误差：±0.2℃
16． 样品台变温速率：高温10℃/min 低温5℃/min 最大值
17． 温度显示：7寸人机界面
18． 温控类型：标准PID温控 +自整定（可选30段编程控温）
19． 温度分辨率：0.1℃
20． 温控精度：±0.5℃
21． 温度信号输入类型：PT100热电阻 （可选 K S B型热电偶）
22． 温控输出：直流线性电源加热（液氮流量线性控制液氮制冷）
23． 辅助功能：温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线
24． 电信号接头：配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米
25． 电学性能：绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA
26． 探针数量：4探针（可定做6探针）
27． 探针材质：镀金钨针
28． 探针尖：10μm
29． X轴移动行程：12mm ±6mm
30． X轴控制精度：≤5μm
31． Y轴移动行程：12mm ±6mm
32． Y轴控制精度：≤5μm
33． Z轴移动行程：12mm ±6mm
34． Z轴控制精度：≤5μm
35． 显示屏：5寸 屏幕一体机
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