探针台发货前测试

一英寸真空探针台发货前皮安级别电流噪声测试、30分钟400℃稳定测试、发货前氦质谱检漏测试

一英寸探针台电流噪声可到皮安级别，满足大部分实验室使用需求，长时间使用温度精度±1℃，发货前经过氦质谱检漏，真空漏率保证5*10-11Pam3/S，保证腔体真空度。

该主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

该探针台的承载台为28X28mm不锈钢台面，台面可升温到-190~400℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中X方向调节范围：0-13mm,y方向调节范围：0-13mm；z方向调节范围：0-13mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。