郑科探 KT-Z1604T-RL 两英寸真空探针台介绍

KT-Z160T-RL该探针台的承载台为60x60不锈钢台面，台面最高可升温到最高400℃。低温-190°C。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－25mm；z方向调节范围：0－25mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。

三：主要技术要求

1．    腔体材质：304不锈钢

2．    上盖开启：铰链侧开

3．    加热台材质：304不锈钢

4．    内腔体尺寸：φ160x90mm

5．    观察窗尺寸：Φ70mm

6．    加热台尺寸：φ55×55mm

7．    观察窗热台间距：75mm

8．    加热台温度： -196℃-400℃

9．    加热台温控误差： ±1℃

10．样品台变温速率：高温10℃/min 低温10℃/min 最大值

11．温度显示：7寸人机界面

12．真空度： 机械泵≤5Pa  分子泵≤10-3Pa

13．允许正压： ≤0.01MPa

14．真空抽气口： KF25真空法兰

15．气体进气口： 3mm-6mm卡套接头

16．电学性能： 绝缘电阻 ≥4000MΩ  介质耐压 ≤500V 漏电流 ≤500fA

17．探针数量： 4探针（可选购5探针）

18．探针材质： 镀金钨针

19．探针尖： 10μm/50μm

20．X轴移动行程： 30mm  ±15mm

21．X轴控制精度：≤0.01mm

22．Y轴移动行程：25mm  ±12.5mm

23．Y轴控制精度：≤0.01mm

24．Z轴移动行程：25mm  ±12.5mm

25．Z轴控制精度：≤0.01mm