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小型离子溅射仪喷金厚度

简要描述:小型离子溅射仪喷金厚度KT-Z1650CVD是一款小型台式蒸发功率可控蒸发镀膜仪,仪器虽小功能齐全,配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率,可对大部分金属进行均匀蒸发沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。

  • 产品型号:KT-1650PVD
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2021-06-09
  • 访  问  量:65
详细介绍
品牌郑科探价格区间面议
产地类别国产应用领域电子
真空机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵≤5*10^-3Pa

        小型离子溅射仪喷金厚度KT-Z1650CVD是一款小型台式蒸发功率可控蒸发镀膜仪,仪器虽小功能齐全,配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。

          小型离子溅射仪喷金厚度通过定时调节预热功率及蒸发功率,可对大部分金属进行均匀蒸发沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。

 

小型离子溅射仪喷金厚度技术参数

设备名称

小型溅射仪

小型蒸镀仪

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

工作电源

直流溅射电源

直流热蒸发电源

镀膜功能

0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

功率

≤1000W

≤1500W

输出电压电流

电压≤1000V  电流≤1A

电压≤12V  电流≤100A

真空

机械泵 ≤5Pa(5分钟)   分子泵≤5*10^-3Pa

腔体真空

≤30Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm

石英腔体φ160mm x 160mm

样品台

可旋转φ62  (可安装φ50基底)

样品台转速

8转/分钟

样品溅射源调节距离

40-105mm

70-140mm

蒸发坩埚容积

 

3ML

蒸发温度调节

 

≤1600℃

真空测量

皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa  1E-1Pa)

预留真空接口

KF25抽气口    KF16放气口   6mm卡套进气口

可选配扩展

1 膜厚在线测试    2 分子泵

公司简介:

              郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料设备创新型企业,如今公司的产品已经遍布国内大多数实验室 及科学院校,科探仪器已经成为老师 同学和信任的品牌。   公司以科技创新为主,服务社会为宗旨,积极设计开发新型材料制备设备,奉献于教育和科学,经过长期的研发和不断地技术积累,拥有热工,制造,控制相关技术10余项,为化学,物理,材料,电子,高分子工程,新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师 同学强强联合,形成了有效的信息,技术交流平台,为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持!

 

       目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品,产品囊括实验电炉   CVD供气系统 小型离子溅射仪喷金厚度  等离子清洗机   小型离子溅射仪   小型蒸镀仪  石英管真空封口   半导体等。 主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究,广销于各大院校,及材料研究所。

 

     

      公司与国内高校,科研院所有多层次的合作关系,建有开放实验室,相关领域的教授、工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念,依靠严谨的技术研发能力,科学合理的生产工艺,精益求精的制造要求,全心全意做好产品质量和服务工作,科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。

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