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郑科探 KT-Z1650CVD小型离子溅射仪

产品简介

郑科探 KT-Z1650CVD小型离子溅射仪是一款小型台式蒸发功率可控蒸发镀膜仪,仪器虽小功能齐全,配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。

产品型号:KT-1650PVD
更新时间:2024-03-27
厂商性质:生产厂家
访问量:980
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品牌郑科探样品台尺寸氩气mm
控制方式触摸屏智能控制样品仓尺寸50mm
靶材尺寸50mm靶材材质金 铂 铜 银
价格区间面议产地类别国产
应用领域电子

    郑科探 KT-Z1650CVD小型离子溅射仪是一款小型台式蒸发功率可控蒸发镀膜仪,仪器虽小功能齐全,配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。

      郑科探 KT-Z1650CVD小型离子溅射仪通过定时调节预热功率及蒸发功率,可对大部分金属进行均匀蒸发沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。

设备名称

小型溅射仪

小型蒸镀仪

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

工作电源

直流溅射电源

直流热蒸发电源

镀膜功能

0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

功率

≤1000W

≤1500W

输出电压电流

电压≤1000V  电流≤1A

电压≤12V  电流≤100A

真空

机械泵 ≤5Pa(5分钟)   分子泵≤5*10^-3Pa

腔体真空

≤30Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm

石英腔体φ160mm x 160mm

样品台

可旋转φ62  (可安装φ50基底)

样品台转速

8转/分钟

样品溅射源调节距离

40-105mm

70-140mm

蒸发坩埚容积

3ML

蒸发温度调节

≤1600℃

真空测量

皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa  1E-1Pa)

预留真空接口

KF25抽气口    KF16放气口   6mm卡套进气口

可选配扩展

1 膜厚在线测试    2 分子泵


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