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小型台面式热蒸发镀膜仪

简要描述：小型台面式热蒸发镀膜仪是一款小型台式蒸发功率可控蒸发镀膜仪，仪器虽小功能齐全，配备有电压电流反馈,样品台旋转，样品高度调节，及电动挡板功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率，可对大部分金属进行均匀蒸发沉积，真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。

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厂商性质：生产厂家
更新时间：2020-07-13
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详细介绍

品牌	郑科探	溅射气体	气体
样品台尺寸	50mm	控制方式	触摸屏控制
样品仓尺寸	0mm	靶材尺寸	0mm
靶材材质	详询	价格区间	面议
产地类别	国产	应用领域	电子

小型台面式热蒸发镀膜仪是一款小型台式蒸发功率可控蒸发镀膜仪，仪器虽小功能齐全，配备有电压电流反馈,样品台旋转，样品高度调节，及电动挡板功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率，可对大部分金属进行均匀蒸发沉积，真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。

小型台面式热蒸发镀膜仪技术参数：

控温方式	数字式功率调整器
镀膜功能	0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
大功率	≤800W
大输出电压电流	电压≤10V 电流≤80A
真空度	机械泵 ≤5Pa（5分钟）分子泵≤5*10^-3Pa
挡板类型	电控
样品室	石英腔体φ160mm x 160mm
样品台	可旋转φ62 （大可安装φ50基底）
样品台转速	8转/分钟
样品热源调节距离	70-140mm
蒸发温度调节	≤1600℃
蒸发坩埚容积	3ML
真空法兰	KF25抽气口 KF25扩展口 KF16放气口 6mm卡套进气口
可选配扩展	1 膜厚在线测试 2 分子泵

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