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小型台面式热蒸发镀膜仪

产品时间:2020-07-13

简要描述:

小型台面式热蒸发镀膜仪是一款小型台式蒸发功率可控蒸发镀膜仪,仪器虽小功能齐全,配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率,可对大部分金属进行均匀蒸发沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。

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       小型台面式热蒸发镀膜仪是一款小型台式蒸发功率可控蒸发镀膜仪,仪器虽小功能齐全,配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率,可对大部分金属进行均匀蒸发沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。

 小型台面式热蒸发镀膜仪技术参数:

控温方式

数字式功率调整器

镀膜功能

0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

最大功率

≤800W

最大输出电压电流

电压≤10V  电流≤80A

真空度

机械泵 ≤5Pa(5分钟)   分子泵≤5*10^-3Pa

挡板类型

电控

样品室

石英腔体φ160mm x 160mm

样品台

可旋转φ62  (最大可安装φ50基底)

样品台转速

8转/分钟

样品热源调节距离

70-140mm

蒸发温度调节

≤1600℃

蒸发坩埚容积

3ML

真空法兰

KF25抽气口  KF25扩展口  KF16放气口 6mm卡套进气口

可选配扩展

1 膜厚在线测试    2 分子泵

 

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