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光学环境真空微腔探针台

产品时间:2020-07-13

简要描述:

光学环境真空微腔探针台 测试腔:同时满足静态/动态测试,304不锈钢材质,可在紫外灯下保证气密性测试;
测试样品数:同时测试8个样品,可进行频率-阻抗测试、插指电极和场效应管测试;

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1、光学环境真空微腔探针台 测试腔、控温及加热系统

测试夹具要求:可实现XYZ移动;光学环境真空微腔探针台

测试腔:同时满足静态/动态测试,304不锈钢材质,可在紫外灯下保证气密性测试;

测试样品数:同时测试8个样品,可进行频率-阻抗测试、插指电极和场效应管测试;

测量温度:室温---300 ℃

控温精度:±1 ℃

显示精度:±0.1 ℃

测温传感器:PT100

升温斜率:1-10 ℃/min

通讯类型:RS485

加热功率:500 W

测试腔容积<2 L

 

2、光学环境真空微腔探针台气体配比器

流量计数量:5个,(根据客户需求标定 气体  量程    进气口和出气口) 

流量规格:500 ml/min

精准度:±1.0% S.P.(≥30% F.S.)±0.30% F.S.(<30% F.S.)

重复精度:±0.2% F.S

响应时间:≤1 s

密封形式:金属密封

接头尺寸:6 mm

漏率:<1×10-8 Pa·m3/s

通讯接口:RS485

4、样品12*10mm,探针可移动范围x-y 1-10mm,z轴3-5mm

5、每个样品上方一个紫外灯,四个灯连成灯串外置一个可控开关。紫外灯可更换,样品上方2cm

6、加热板上有个镀金衬底,用来连接栅极。

          目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品,产品囊括实验电炉   CVD供气系统   等离子清洗机   小型离子溅射仪   小型蒸镀仪  石英管真空封口   半导体检测等。 主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究,广销于各大院校,及材料研究所。

      公司与国内高校,科研院所有多层次的合作关系,建有开放实验室,相关领域的教授、高级工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念,依靠严谨的技术研发能力,科学合理的生产工艺,精益求精的制造要求,全心全意做好产品质量和服务工作,科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。

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