混合气体配比气体混配器流量流量配比可将多种气体安一定比例均匀混合后通入到管式炉中。各种气体的流量是通过精密的质量流量计来控制，流量计和混气罐都安装在一个移动柜内。此系列设备可用于搭建CVD系统，也可为样品退火提供所需的气氛环境.

手动气体流量配比器可以外接3或多种气体,采用质子型流量计,气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏.

多通道气体配比器 气体混合器可以外接3或多种气体,采用质子型流量计,气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏

该多路气体配比器 三进一出可以外接3或多种气体,采用质子型流量计,气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏.

气液体混合配比器 氮气标定流量计主要用于气体液体混合配比,液体加热产生气体并用其他气体做载气,为等离子沉积cvd沉积或其他特定设备提供气氛环境. 控制方式采用集成化模块控制 功能延伸性强 根据客户要求随意添加