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中型真空高低温探针台

简要描述:中型真空高低温探针台,体型平板大小,功能齐全,带高低温(-196℃到400℃),探针尖10μm。

  • 产品型号:KT-0904T-RL
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-07-25
  • 访  问  量:215
详细介绍
品牌郑科探

中型真空高低温探针台,体型平板大小,功能齐全,带高低温(-196℃到400℃),探针尖10μm。

模块化结构设计,可以使探针台在一个基本平台的基础上不断的进行升级。可根据测试环境和测试条件的改变而进行现场升级。增加高低温等,以满足用户新的要求。


  • 可处理不同尺寸的晶圆

  • 可测试芯片、晶圆

  • 可处理薄的和弯曲的晶圆或者硅和III-V 族化合物

  • 模块化结构设计,具有较好的灵活性


中型真空高低温探针台参数


真空腔体

类型

加热型350   或者加热制冷型 室温到350 室温到-190

腔体材质

304不锈钢

腔体内尺寸

φ90x40mm

腔体上视窗尺寸

Φ42mm(选配凹视窗Φ22mm

腔体抽气口

KF16

腔体进气口

公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选

腔体出气口

公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选

腔体正压

0.05MPa

腔体真空度

机械泵≤5Pa 5分钟)  分子泵≤5E-3Pa30分钟)

样品台

样品台材质

304不锈钢

样品台尺寸

26X26mm

样品台-视窗 距离

30mm(可选凹视窗间距15mm

样品台测温传感器

A    PT100铂电阻

样品台温度

室温到350℃(可选高低温样品台 高温350℃低温-190℃)

样品台测温误差

±0.2

样品台变温速率

高温10/min   低温5/min  最大值

温控仪

温度显示

7寸人机界面

温控类型

标准PID温控 +自整定(可选30段编程控温)

温度分辨率

0.1

温控精度

±0.5

温度信号输入类型

PT100热电阻 (可选 K    S  B型热电偶)

温控输出

直流线性电源加热(液氮流量线性控制液氮制冷)

辅助功能

温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线

探针

电信号接头

配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2

电学性能

绝缘电阻 4000MΩ     介质耐压 200V    电流噪声 10pA

探针数量

4探针(可定做6探针)

探针材质

镀金钨针

探针尖

10μm

探针移动平台

X轴移动行程

12mm    ±6mm

X轴控制精度

5μm

Y轴移动行程

12mm    ±6mm

Y轴控制精度

5μm

Z轴移动行程

12mm    ±6mm

Z轴控制精度

5μm

数码显微镜

显微镜类别

物镜放大+电子放大

显微镜放大倍数

100

显微镜工作间距

50-150mm

相机分辨率

1080P  60  

相机信号输出

HDMI输出+USB输出

LED可调光源

LED光源

显示屏

5 屏幕一体机


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