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高温气敏测试台 真空探针台

产品简介

高温气敏测试台 真空探针台,体型平板大小,功能齐全,带高低温(-196℃到400℃),探针尖10μm。

产品型号:KT-0904T-RL
更新时间:2024-04-30
厂商性质:生产厂家
访问量:1095
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品牌郑科探

高温气敏测试台 真空探针台,体型平板大小,功能齐全,带高低温(-196℃到400℃),探针尖10μm。

模块化结构设计,可以使探针台在一个基本平台的基础上不断的进行升级。可根据测试环境和测试条件的改变而进行现场升级。增加高低温等,以满足用户新的要求。

  • 可处理不同尺寸的晶圆

  • 可测试芯片、晶圆

  • 可处理薄的和弯曲的晶圆或者硅和III-V 族化合物

  • 模块化结构设计,具有较好的灵活性

高温气敏测试台 真空探针台参数

真空腔体

类型

加热型350℃    或者加热制冷型 室温到350℃ 室温到-190℃

腔体材质

304不锈钢

腔体内尺寸

φ90x40mm

腔体上视窗尺寸

Φ42mm(选配凹视窗Φ22mm)

腔体抽气口

KF16

腔体进气口

公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选

腔体出气口

公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选

腔体正压

≤0.05MPa

腔体真空度

机械泵≤5Pa (5分钟)  分子泵≤5E-3Pa(30分钟)

样品台

样品台材质

304不锈钢

样品台尺寸

26X26mm

样品台-视窗 距离

30mm(可选凹视窗间距15mm)

样品台测温传感器

A    级PT100铂电阻

样品台温度

室温到350℃(可选高低温样品台 高温350℃低温-190℃)

样品台测温误差

±0.2℃

样品台变温速率

高温10℃/min    低温5℃/min  最大值

温控仪

温度显示

7寸人机界面

温控类型

标准PID温控 +自整定(可选30段编程控温)

温度分辨率

0.1℃

温控精度

±0.5℃

温度信号输入类型

PT100热电阻 (可选 K    S  B型热电偶)

温控输出

直流线性电源加热(液氮流量线性控制液氮制冷)

辅助功能

温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线

探针

电信号接头

配线转接 BNC接头  BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米

电学性能

绝缘电阻 ≥4000MΩ     介质耐压 ≤200V    电流噪声 ≤10pA

探针数量

4探针(可定做6探针)

探针材质

镀金钨针

探针尖

10μm

探针移动平台

X轴移动行程

12mm    ±6mm

X轴控制精度

≤5μm

Y轴移动行程

12mm    ±6mm

Y轴控制精度

≤5μm

Z轴移动行程

12mm    ±6mm

Z轴控制精度

≤5μm

数码显微镜

显微镜类别

物镜放大+电子放大

显微镜放大倍数

100倍

显微镜工作间距

50-150mm

相机分辨率

1080P  60帧   

相机信号输出

HDMI输出+USB输出

LED可调光源

LED光源

显示屏

5寸 屏幕一体机





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