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高真空大型探针台

简要描述:高真空大型探针台,采用304不锈钢腔体,样品台温度-196℃到400℃,观察窗尺寸直径70mm,

  • 产品型号:KT-Z160T-RL
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-07-25
  • 访  问  量:75
详细介绍
品牌郑科探

高真空大型探针台,采用304不锈钢腔体,样品台温度-196℃到400℃,观察窗尺寸直径70mm,

预算及产品品质一直是困扰用户的两个难题。郑科探推出的KT-Z160T-RL大型探针台具有探针臂精度小于0.01mm,探针尖10μm,配有电子显微镜放大倍数19-135倍。20升液氮可连续使用30个小时。价格相对合理。


因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。

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高真空大型探针台

真空腔体

腔体材质

304不锈钢

上盖开启

铰链侧开

加热台材质

304不锈钢

内腔体尺寸

φ160x90mm

观察窗尺寸

Φ70mm

加热台尺寸

φ60mm

观察窗热台间距

75mm

加热台温度

﹣196~350

加热台温控误差

±1

真空度

机械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

允许正压

≤0.1MPa

真空抽气口

KF25真空法兰

气体进气口

3mm-6mm卡套接头

电信号接头

SMA转BNC X 4

电学性能

绝缘电阻 ≥4000MΩ   介质耐压 ≤500V

探针数量

4探针

探针材质

钨针  

探针尖

10μm

探针移动平台

X轴移动行程

30mm    ±15mm

X轴控制精度

≤0.01mm

Y轴移动行程

13mm    ±12.5mm

Y轴控制精度

≤0.01mm

Z轴移动行程

13mm    ±12.5mm

Z轴控制精度

≤0.01mm

电子显微镜

显微镜类别

物镜

物镜倍数

0.7-4.5

工作间距

90mm

相机

sony 高清

像素

1920※1080像素

图像接口

VGA

LED可调光源

显示屏

8

放大倍数

19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm



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