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掌上真空探针台

简要描述:掌上真空探针台,一体式不锈钢腔体,手动调节探针,正面留有观察窗,反面留有透光孔。高低温配置。

  • 产品型号:KT-Z4019MRL4T
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-07-25
  • 访  问  量:64
详细介绍
品牌郑科探

掌上真空探针台,一体式不锈钢腔体,手动调节探针,正面留有观察窗,反面留有透光孔。高低温配置

KT-Z4019MRL4T是一款便携式探针台,结构小巧,功能使用,成本较低,可以满足基本实验的要求。特别之处在于显微镜和探针台采用分体结构,使得探针部分能从整个探针台系统中独立出来,可以应用于辐照实验中,该探针台也可放置高低温箱中,用于芯片的三温测试。多探针结构可实现多路测试。配合接地良好的铝制屏蔽盒,增加了抗干,扰,能力,其测试数据更加准确。637862187380371355751.jpg

掌上真空探针台KT-Z4019MRL4T

真空腔体

类型

高温型室温到350

高低温型 室温到350  室温到-196

腔体材质

304不锈钢 6061铝合金 可选

腔体内尺寸

127mmX57mmX20mm

腔体外尺寸

150mmX80mmX32mm

腔体重量

不锈钢材质 1.5KG     铝合金材质 0.5KG

腔体上视窗尺寸

Φ42mm(可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离)

腔体抽气口

KF16法兰(其余接口规格可转接)

腔体真空测量口

KF16法兰(其余接口规格可转接)

腔体进气口

6mm快拧 6mm快插

腔体冷却方式

腔体水冷+上盖气冷

腔体水冷接口


腔体正压

0.05MPa

腔体真空度

机械泵≤5Pa 5分钟)  分子泵≤5E-3Pa30分钟)

样品台

样品台材质

不锈钢 银铜合金 纯银块

银铜合金 纯银块

样品台尺寸

26x26mm

样品台加热方式

电阻加热

电阻加热 液氮制冷

样品台-视窗 距离

11mm(可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm

样品台测温传感器

PT100型热电阻

样品台温度

室温到400

室温到400  室温到-196

样品台测温误差

±0.5

样品台升温速率

高温100/min  低温7/min

温控仪

温度显示

7寸人机界面

温控类型

标准PID温控 +自整定

温度分辨率

0.1

温控精度

±0.5

温度信号输入类型

PT100 (可选K  S  B型热电偶)

温控输出

直流线性电源加热

直流线性电源加热+液氮流速控制器

辅助功能

温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真空读数接口

温控器尺寸

32cmX170cmX380cm

温控器重量

5.6KG

探针

电信号接头

配线转接 BNC接头   BNC三同轴接头  SMA 接头 香蕉插头 线长1.2

电学性能

绝缘电阻 4000MΩ     介质耐压 200V    电流噪声 10pA

探针数量

4探针(可扩展5探针)

探针材质

镀金钨针 (其他材质可选)

探针尖

10μm

手动探针移动平台

X轴移动行程

20mm    ±10mm(需手动推动滑台)

X轴控制精度

500μm

R轴移动行程

120°    ±60°(需手动旋转探针杆)

R轴控制精度

500μm

Z轴移动行程

2mm    ±1mm

Z轴控制精度

50μm(需手动螺纹调节探针杆)




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