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真空小型蒸镀仪

简要描述:真空小型蒸镀仪KT-Z1650CVD,7寸触摸屏控制,工艺记忆储存方便下次使用,样品台旋转0-8转/分,自动电动挡板保护样品,石英腔室洁净好清洗。

  • 产品型号:KT-Z1650CVD
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-06-07
  • 访  问  量:261
详细介绍
品牌郑科探产地类别国产
应用领域综合

真空小型蒸镀仪KT-Z1650CVD 

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设备一体化设计,占地面积小,*,性能稳定,使用维护成本低;

设备兼容有机蒸发与无机蒸发,多元共蒸获得复合膜/分蒸获得多层膜,功能强大,性能稳定;

适用于实验室制备金属单质膜、半导体膜、有机膜,也可用于生产线前期工艺试验等;

适用于蒸发镀膜与手套箱环境有机融合,实现蒸镀、封装、测试等工艺无缝对接,广泛用于钙钛矿太阳能电池/OPV有机太阳能电池及OLED薄膜等研究系统等

以下是不同真空度 不同镀膜时间镀铜样品图

637858771737832260197.png   原样品没有镀膜                       637858771732996198687.png  115A 100秒 机械泵

637858771732840196319.png115A 100秒 分子泵抽12分钟    637858771732684194803.png  115A 120秒 分子泵抽20分钟


真空度越高 越不易氧化 越接近金属本色


真空小型蒸镀仪KT-Z1650CVD 

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

加热方式

数字式功率调整器

镀膜功能

0-9995段可变换功率及挡板位和样品速度程序

最大功率

1200W

最大输出电压电流

电压≤12V  电流≤120A

真空度

机械泵 ≤5Pa5分钟)   分子泵≤10^-3Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm

样品台

可旋转φ62  (最大可安装φ50基底)

样品台转速

8/分钟

样品蒸发源调节距离

70-140mm

蒸发温度调节

1800

支持蒸发坩埚类型

钨丝蓝  带坩埚钨丝蓝  钨舟  碳绳  

预留真空接口

KF25抽气口  KF16真空计接口  KF16放气口 6mm卡套进气口

可选配扩展

机械真空泵(可抽真空 5分钟<5Pa  

数显真空计(测量范围大气压到0.1Pa

分子泵机组(可抽真空20分钟≤5x10-3Pa



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