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郑科探小型蒸镀仪

简要描述:郑科探小型蒸镀仪KT-Z1650CVD是我公司专为科研院所及实验室用户群体设计开发的一款小型高真空蒸发镀膜系统。机架电控一体化设计,整体布局紧凑合理,充分考虑人机工程学的倾斜操控面板和可直观观察蒸发状态的玻璃真空室结构相得益彰。蒸发源可兼容金属、有机物蒸发。广泛应用于高校、科研院所制备功能薄膜、蒸镀电极、扫描电镜制样等,特别适合太阳能电池、有机EL、LED显示管研究与开发领域。

  • 产品型号:KT-Z1650CVD
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-04-20
  • 访  问  量:183
详细介绍
品牌郑科探产地类别国产
应用领域化工,电子

郑科探小型蒸镀仪

-热蒸发源:电阻式热蒸发舟,交流电源;
-
腔体:不锈钢或石英腔体可供客户选择;
-
泵:前级干泵,分子泵;
- Load Lock
样品传输腔室:手动或自动传输,高真空,支持多种样品衬底(选配)
-
工艺控制:PC/PLC机制的自动控制、数据处理、工艺记忆储存;

-
衬底固定:单衬底固定,客户化衬底固定方式;

-       衬底夹具:加热,冷却,偏置,旋转等;

-       保护样品:配有样品挡板,可手动或自动开/关挡板,达到及时遮挡样品效果;

以下为蒸发镀膜设备的示意图: 

       image.png  

以下是不同真空度 不同镀膜时间镀铜样品图

637858771737832260197.png   原样品没有镀膜                       637858771732996198687.png  115A 100秒 机械泵

637858771732840196319.png115A 100秒 分子泵抽12分钟    637858771732684194803.png  115A 120秒 分子泵抽20分钟

真空度越高 越不易氧化 越接近金属本色



637844882350281266506.jpg


郑科探小型蒸镀仪KT-Z1650CVD技术资料

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

加热方式

数字式功率调整器

镀膜功能

0-9995段可变换功率及挡板位和样品速度程序

最大功率

1200W

最大输出电压电流

电压≤12V  电流≤120A

真空度

机械泵 ≤5Pa5分钟)   分子泵≤10^-3Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm

样品台

可旋转φ62  (最大可安装φ50基底)

样品台转速

8/分钟

样品蒸发源调节距离

70-140mm

蒸发温度调节

1800

支持蒸发坩埚类型

钨丝蓝  带坩埚钨丝蓝  钨舟  碳绳  

预留真空接口

KF25抽气口  KF16真空计接口  KF16放气口 6mm卡套进气口

可选配扩展

机械真空泵(可抽真空 5分钟<5Pa  

数显真空计(测量范围大气压到0.1Pa

分子泵机组(可抽真空20分钟≤5x10-3Pa


技术支持&服务:

1. 技术支持:在合同签订之前,我们的专业工程师会在充分了解客户需求的前提下,为客户做出*的选型和方案设计,使客户充分了解并理解产品技术指标、性能用途、使用场合、安全注意事项等,以帮助客户做出正确的选择。

2. 安装与培训:在产品使用前,我们会派专业工程师为您提供现场技术支持、培训及演示服务。

3. 产品质保:我们对产品提供12个月的质保期,在质保期内发生设备或配件损坏由公司负责赔偿或免费维修。(耗材和易损件除外)

4. 终身维护:我们对提供的产品提供终身服务,对于超过质保期限的维修、维护仅收取材料费,免除一切人工费用。


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