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小型蒸镀仪郑科探

简要描述:小型蒸镀仪郑科探KT-Z1650CVD是一款小型台式加热功率可控蒸发镀膜仪,仪器虽小功能齐全,配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率,可对大部分金属进行均匀蒸发沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜和有机物薄膜

  • 产品型号:KT-Z1650CVD
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-04-08
  • 访  问  量:170
详细介绍
品牌郑科探溅射气体根据需求气体
样品台尺寸φ50mm控制方式触摸屏智能控制
样品仓尺寸50mm靶材尺寸50mm
靶材材质金 铂 铜 银价格区间1-5万
产地类别国产应用领域化工,电子

             小型蒸镀仪郑科探KT-Z1650CVD是一款小型台式加热功率可控蒸发镀膜仪,仪器虽小功能齐全,配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率,可对大部分金属进行均匀蒸发沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜和有机物薄膜  

    小型溅射仪

小型蒸镀仪郑科探技术资料

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

加热方式

数字式功率调整器

镀膜功能

0-9995段可变换功率及挡板位和样品速度程序

最大功率

1200W

最大输出电压电流

电压≤12V  电流≤120A

真空度

机械泵 ≤5Pa5分钟)   分子泵≤10^-3Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm

样品台

可旋转φ62  (最大可安装φ50基底)

样品台转速

8/分钟

样品蒸发源调节距离

70-140mm

蒸发温度调节

1800

支持蒸发坩埚类型

钨丝蓝  带坩埚钨丝蓝  钨舟  碳绳  

预留真空接口

KF25抽气口  KF16真空计接口  KF16放气口 6mm卡套进气口

可选配扩展

机械真空泵(可抽真空 5分钟<5Pa  

数显真空计(测量范围大气压到0.1Pa

分子泵机组(可抽真空20分钟≤5x10-3Pa


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