产品展示
PRODUCT DISPLAY
产品展示您现在的位置: 首页 > 产品展示 > 材料样品处理 > 小型蒸镀仪 >小型溅射仪 直流溅射镀膜仪

小型溅射仪 直流溅射镀膜仪

产品时间:2020-07-17

简要描述:

KT-Z1650PVD是一款小型溅射仪 直流溅射镀膜仪功率可控磁控溅射仪,仪器虽小功能齐全,配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。通过定时调节预溅射功率及薄膜沉积功率,可对大部分金属进行均匀物理沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜。

在线咨询 点击收藏

      KT-Z1650PVD是一款小型溅射仪 直流溅射镀膜仪功率可控磁控溅射仪,仪器虽小功能齐全,配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。通过定时调节预溅射功率及薄膜沉积功率,可对大部分金属进行均匀物理沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜。

 

 小型溅射仪 直流溅射镀膜仪技术参数

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

溅射电源

直流溅射电源

镀膜功能

0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序

最大功率

≤1000W

最大输出电压电流

电压≤1000V  电流≤1A

极限真空

机械泵 ≤5Pa(5分钟)   分子泵≤5*10^-3Pa

溅射真空

≤30Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm

样品台

可旋转φ62  (最大可安装φ50基底)

样品台转速

8转/分钟

样品溅射源调节距离

40-105mm

真空测量

皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa  1E-1Pa)

预留真空接口

KF25抽气口    KF16放气口   6mm卡套进气口

 

针对市场上其它型号小型溅射仪 直流溅射镀膜仪我们做如下改进 

1 腔体扩充口可增加扩展口  最大可扩展KF40接口方便连接分子泵 或 晶控传感器

2 样品可旋转 最大转速20转每分钟 使镀膜样品更均匀

3 轻旋转机械手柄 样品高度可精细调节 样品距离靶材距离可到1mm

4 电动挡板 使用人机界面程序控制打开或者关闭时间

5 可通过人机界面手动或者使用编程自动控制预溅射(洗靶) 恒定功率输出  变换功率输出 定时打开挡板(时间单位 秒)关闭挡板 样品转速  工艺可存储  工艺名称可改 利如 喷金20纳米厚

6 腔体上盖铰链安装 更换靶材方便操作 

7 此产品已申请多项技术 抄袭请慎重!!!

 

     目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品,产品囊括实验电炉   CVD供气系统   等离子清洗机   小型离子溅射仪   小型蒸镀仪  石英管真空封口   半导体检测等。 主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究,广销于各大院校,及材料研究所。

    公司与国内高校,科研院所有多层次的合作关系,建有开放实验室,相关领域的教授、高级工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念,依靠严谨的技术研发能力,科学合理的生产工艺,精益求精的制造要求,全心全意做好产品质量和服务工作,科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。

留言框

  • 产品:

  • 留言内容:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 详细地址:

  • 省份:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
在线客服