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气体流量计选型

产品时间:2020-03-31

简要描述:

气体流量计选型主要用于环境气体模拟配比 燃料电池气体加湿 材料表面改性 湿度气敏材料电学信号测试系统可耐0.6MPa  设备通过饱和蒸汽和干空气按比例混合气体输出 出气口无冷凝水 可为气体分析仪 燃料电池 气敏测试腔供气

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简介

    气体流量计选型主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境.

    该气体配比器可以外接3种气体,采用质子型流量计,气路管道采用304抛光管制作耐腐蚀性强.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏.

         气体流量计选型主要用于环境气体模拟配比 燃料电池气体加湿 材料表面改性 湿度气敏材料电学信号测试系统可耐0.6MPa  设备通过饱和蒸汽和干空气按比例混合气体输出 出气口无冷凝水 可为气体分析仪 燃料电池 气敏测试腔供气

用途

1.半导体制造行业中气体流量控制

2.各种真空镀膜设备

3.特种材料表面处理

4.气体燃烧控制

5.混和配气系统

6.泄漏探测系统

7.环境检测与分析设备

8.分析仪器的气体流量计量与控制

9.化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所

 

技术参数

 

 

产品型号

KT-C2Z

产品类型

智能控制 触摸屏控制

流量量程

2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,

1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm

流量控制方式

触摸屏设定流量

时间设定

0-99999

数据导出

程序控制

无 (可根据要求写程序)

压力显示

无  (可根据需求添加)

耐压

3MPa

密封材料

金属密封 Metal

输入输出信号

(0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,

电源

±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC

阀类型

常开或常闭

温度系数

Span: ≤±0.05% F.S./℃,Zero: ≤±0.05% F.S./℃

零点飘移指标

<0.6%F.S. per year without autozero

电气连接

Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male

工作压差范围

(0.05~0.35) MPa (F.S.≤10slm),(0.1~0.35)MPa(10slm≤F.S.≤30slm)

漏率

1×10-10atm•cc / sec He(1×10-11 Pa•m3 / sec He)

标准接头形式

双卡套1/4”(满量程≤30slm),双卡套Φ3 (仅适用于满量程≤5slm产品),双卡套Φ6(仅适用于满量程≤30slm产品),VCR1/4”,IGS W型,IGS C型

表面化学成分

CrO thickness >20 Angstroms

表面粗糙度

20µinch

抗电磁干扰

CE

重量

16KG

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