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液体气体混合配比器

产品时间:2020-03-31

简要描述:

液体气体混合配比器 用于对气体的质量流量进行精密测量;质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。

它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括; 电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、CVD、等

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     液体气体混合配比器(Mass Flow Meter 缩写为MFM)用于对气体的质量流量进行精密测量;质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。

    它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括; 电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。

概览

    液体气体混合配比器(MFC)和气体质量流量计(MFM)用于对气体的质量流量进行 精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环 保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 集成电路工 艺设备,如外延炉、扩散炉、CVD、等离子刻蚀机、溅射台、离子注入机; 以及镀膜设备、 光纤熔炼设备、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及 其它分析仪器。

CS200-A,C,D 型 MFC/ MFM 是七星电子生产的数字型产品,为气体质量流量的控制、 测量提供了高准确度及高可靠性。该型产品可同时支持数字信号,0~5V 模拟信号,4~20mA 或 0~20mA 模拟信号,可以使用双电源(±8~±16 VDC)或单电源(+14~+28 VDC)。支持自动故障报警,多气体多量程等功能。标准开放的通讯协议为客户自行开发控制、采集软件 提供便利。提供功能强大的免费客户端上位机软件 Digital MFC。CS200-C 与 CS200-D 产品所有与气体接触的表面均为不锈钢金属,其中 CS200-C 金属表面符合 SEMI 标准的要求。

CS200-A,C,D MFC 默认配置为:
MAC 地址:32;
RS485 通信波特率:19200;
控制方式:0~5V 电压控制。

更多细节请参考产品附带光盘中的“CS 系列 MFC 通讯协议”。

 

标定

CS200-A,C,D MFC/MFM 可以按照用户的要求来标定。如果用户没有说明工作情况等信息,

则按照标准状况标定。

1、标准状况

出口压力:大气压
气体质量流量通常用标准状态下的体积流量来表示,质量流量单位为: 

SCCM:标准毫升/分钟
SLM:标准升/分钟
标准状态:温度 0°C (273.15K)
                  气压:101325Pa (760mm Hg)

在标准状态下,气体的密度是一个常数,该密度乘以标准状态下的体积就是质量数,所以标准状态下的体积流量就等同于质量流量。
MFC/MFM 的标准安装位置为水平安装,同时为客户提供垂直(进气口向上或向下)、平躺及其它位置的安装,为保证的测量精度,用户购买时应该说明设备的安装方式。

2、制造环境

CS200-A,C,D 型 MFC/ MFM 是在温度为 22±2°C的 100 级的净化间内组装,1000 级净化环境下标定及包装。

3、精度调节
CS200-A,C,D 型 MFC/MFM 在制造完成后都要在相应的标定台上烤机 24 小时,然后进行精确标定。精度、动态响应、压力变化的稳定性等指标须经过两次检查,合格后方可出厂

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