郑科探KT-Z160T-RL真空探针台：精准温控与多轴调节的科研利器

更新时间：2026-06-05

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在半导体器件、材料科学及微电子封装测试领域，一台稳定、精准且易于操作的真空探针台是实验室中的核心设备。今天，为大家介绍KT-Z160T-RL真空探针台，看看它是如何助力科研人员高效完成高精度电学测试的。

KT-Z160T-RL 专为真空环境下的高低温电学检测设计，可广泛应用于微电子、半导体、MEMS、光电材料等领域的器件表征与可靠性测试。

探针臂支持 X/Y/Z 三轴独立微调，所有移动均在真空环境下完成，调节顺滑、响应灵敏：

X 轴行程：0～30mm（±15mm），精度 ≤0.01mm

Y 轴行程：0～13mm（±12.5mm），精度 ≤0.01mm

Z 轴行程：0～13mm（±12.5mm），精度 ≤0.01mm

用户可根据被测器件（DUT）的焊盘位置，自由调节探针落点，配合显微镜观察，轻松实现微米级对准。

加热台材质：304不锈钢，尺寸 φ50mm

温度范围：-194℃ ～ 400℃（液氮制冷 + 加热）

控温误差：±0.5℃

加热台与观察窗间距：75mm，便于物镜工作

搭配2026款高低温温控器，实现双向温度控制：

支持升温和降温速率调节，每分钟 ≤20℃

内置加热电压/电流反馈 + 制冷泵参数反馈

温控器体积缩小 20%，最大输出功率 500W

优化算法与输出模块，控温更平稳

腔体材质：304不锈钢，内腔尺寸 φ160×90mm

上盖开启方式：铰链侧开，方便取放样品

真空度：

机械泵 ≤10Pa

分子泵 ≤10⁻³Pa

允许正压：≤0.05MPa

抽气口：KF25 真空法兰

进气口：3mm～6mm 卡套接头，支持惰性气体或反应气体引入

电信号接口： BNC × 4

绝缘电阻：≥4000MΩ

介质耐压：≤500V

漏电流：飞安级别，可以测试更精密的器件

探针数量：4 根（可根据需求增加第 5探针臂或光纤引入）

探针材质：镀金钨针，针尖直径 10μm，兼顾导电性与耐磨性

可增加光纤引入，满足光电联合测试需求

可增加第 5 探针臂，支持多端器件（如四端法、栅极偏置等）测试

| 半导体器件 | MOS管、二极管、IGBT、功率芯片 |

| 材料电学 | 纳米材料、二维材料、薄膜电阻 |

| 光电探测 | 光电器件、太阳能电池 |

| 低温物理 | 超导材料、量子器件 |

| MEMS | 微执行器、传感器 |

2026款高低温温控器的升级，使升降温过程更加可控、稳定，双向速率调节能力显著提升了温度循环测试的效率与重复性。同时，支持光纤与额外探针臂的扩展，让这台探针台能够灵活应对未来更加复杂的测试需求。